판매용 중고 LAM RESEARCH Kiyo EX #9358698

LAM RESEARCH Kiyo EX는 광범위한 산업, 학술 및 연구 응용 분야에 이상적인 소형, 자체 포함 에치 솔루션입니다. 이 시스템의 주요 기능은 정밀한 프로세스 제어 (process control) 및 반복 (repeatability) 기능을 제공하는 정교한 고속 작동으로, 사용자가 반복 가능하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. Kiyo EX etcher는 대형 LCD 디스플레이, 직관적인 사용자 인터페이스, 고급 온도 및 이온화 제어, 두께 및 에치율 (etch rate) 측정과 같은 직관적인 작동 기능을 통해 사용자에게 친숙한 기능을 제공합니다. 에처는 또한 최대 기판 크기가 250mmx250mm 인 대형 기판을 수용하기위한 대형 챔버를 특징으로합니다. 내장 된 샘플 진공 처커는 큰 기판을 처리하여 정확도를 향상시킬 수 있습니다. LAM RESEARCH Kiyo EX etcher는 다양한 가스 혼합물 및 기타 프로세스 매개 변수를 사용하여 최적의 결과를 제공합니다. 정밀 공식화 된 가스 혼합물 (gas mixture) 의 생성 및 전달을 관리하기 위해 온보드 가스 믹서 (onboard gas mixer) 가 장착되어 있으며, 다양한 전문 에칭 기법을 위해 여러 프로세스 단계를 사용할 수 있습니다. 키요 EX (Kiyo EX) 는 에칭 매질의 자동 레벨 링, 압력 및 온도 제어, 이온화 및 프로세스 매개변수의 정밀 제어, 에치 레이트의 매우 정확한 측정, 기판 및 제품 두께 측정 등의 기능을 통해 전체 에칭 프로세스를 완벽하게 제어합니다. LAM RESEARCH Kiyo EX 에처에는 깊은 실리콘 에칭, 광역 패턴 실리콘 에칭, 표면 합금 및 울트라 클린 에칭을 포함한 다양한 에칭 기술을 사용할 수 있습니다. 에처는 또한 플라즈마 에칭, 엑시머 레이저 패턴화, 마스크 보조 에칭 등 여러 단일 웨이퍼 기술을 지원합니다. 키요 엑스 (Kiyo EX) 는 또한 경품 웨이퍼 카세트 재활용 시스템을 갖춘 화학 물질을 비용 효율적인 용도로 사용하여 소모제 회수를 제공합니다. 이 시스템은 사용된 에칭 (etching) 미디어를 폐기할 필요가 없도록 함으로써 비용을 절감하고 생산성을 높여줍니다. LAM RESEARCH Kiyo EX는 또한 안심과 안정성을 강화하기 위해 확장 된 보증 서비스를 제공합니다. 키요 엑스 (Kiyo EX) 는 다양한 업종의 에칭 및 클리닝 애플리케이션에 이상적인 솔루션이다.