판매용 중고 LAM RESEARCH Kiyo EX #9270879

LAM RESEARCH Kiyo EX는 반도체 산업에 맞춘 에처/애셔입니다. 실리콘 (Silicon), 갈륨 아르 세르 지드 (Gallium Arsenide), 실리콘 온 인슐레이터 (SoI) 웨이퍼와 같은 다양한 재료를 에칭하고 세척 할 때 우수한 결과를 얻을 수있는 고성능 도구입니다. 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 프로세스를 완벽하게 제어하는 강력한 사용자 친화적 컨트롤러가 제공됩니다. 공정 매개변수는 조정이 가능하여, 높은 정밀도와 정밀도를 제공합니다. 또한 low-k 및 III-V 장치 제작에 이상적입니다. 키요 EX (Kiyo EX) 는 강력한 플라즈마 소스, 에칭 챔버 및 웨이퍼 매핑 테이블과 같은 여러 하위 시스템으로 구성됩니다. "플라즈마 '원 은 금속" 이온' 을 안정적 이고 균일 하고 효과적 으로 전달 하며 "웨이퍼 '표면 을 가로지르는 균일 한 에칭 을 한다. 에칭 챔버는 샤워 헤드, 순환 펌프 및 거부 수송과 같은 여러 구성 요소로 구성됩니다. 이 에칭 챔버는 균일 한 깊이 및 레이어 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 매핑 테이블은 에칭할 웨이퍼를 배치하고 정렬하는 데 사용됩니다. 이것은 에칭 프로세스의 정확성과 반복성을 보장합니다. LAM RESEARCH Kiyo EX는 HF 기반 화학 물질, Cl2 기반 화학 물질 및 HBr 기반 화학 물질과 같은 다양한 에치 화학을 제공하며, 균일 한 에칭을 용이하게하는 다양한 배경 가스를 제공합니다. 또한 여러 개의 플라즈마 발전기 (plasma generator) 를 장착하여 웨이퍼 표면에 이온과 에너지를 정확하게 증착 할 수 있습니다. 키요 엑스 (Kiyo EX) 에는 다양한 액세서리와 애드온 모듈이 있어 고급 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을위한 완벽한 도구입니다. 직경 2 "~ 200mm 범위의 기판을 처리 할 수있는 매우 다양한 도구입니다. LAM RESEARCH Kiyo EX에는 인터 록 (Interlock) 및 가스 감지 (Gas Sensing) 와 같은 여러 안전 기능이 있어 도구가 손상되지 않도록 보호합니다. 업계 표준의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션을 위한 다양한 업종의 배치 에칭 및 애싱 (ashing) 작업에 적합합니다. 기요 엑스 (Kiyo EX) 는 다양성과 정확성으로 모든 에칭 및 애싱 프로세스를위한 완벽한 도구입니다.