판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9098962
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ID: 9098962
Poly etcher, 12"
Signal tower: (3) Colors
SMIF(EFEM)
(3) Poly etch chambers
(1) MWAVE STRPR
(3) Load ports
(1) ATM Robot
(1) Buffer station
(25) Slots
(1) Aligner
(2) Load locks
(4) Slot cool chamber
Megatran7 / Broooks transfer robot
Etch chamber
TM Pressure gauge: HPS Series907 / MKS
TM Pressure control: MKS Series640
LL Pressure gauge: Hasting
Model of chamber: 2300 Metal
Model of pressure gauge: MKS, 0.1Torr
Model of throttle gate valve: 65048-PH52-ADR1 / VAT
Model of turbo pump: STP-XA2703CV/Edwards
Model of TCP RF generator: APEX1513 / AE
Model of bias RF generator: APEX1513 / AE
MW Chamber
Model of chamber: 2300 MWAVE STRPR
Model of throttle gate valve: MKA, 253B-24836
Model of vaporizer: MKS, VODMB33CRIBE
Model of MW generator: Revolution, 7690LAM-23
configuration of MFC: Ar 2SLM, O2 5SLM, N2 1SLM
Configuration of gas panel, etch chamber
Type of gas panel: 16-Line IGS block
(16) Gas channel
Model of MFC: SEC-Z313M
Configuration of gas:
CF4 50sccm
O2 20sccm
CL2 200sccm
CH2F2 50sccm
HBr 500sccm
He 500sccm
O2 200sccm
H2 100sccm
SF6 10sccm
Ar 500sccm
HBr 50 sccm
C2F6 200sccm
CF4 200sccm
SF6 200sccm
N2 100sccm
CHF6 200sccm
Configuration of AC rack:
208VAC 3ph (4) Wires 400 AMPS 50/60Hz
Missing parts: Load ports
2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45 Etcher/Asher는 얇은 필름을 기판에 에치하거나 입금하도록 설계된 하드웨어 조각입니다. 이 장치는 플라즈마 소스 기술을 사용하여 우수한 에칭 및 애싱 결과를 얻는 단일 챔버 (single-chamber) 단일 웨이퍼 장비입니다. 직경 2 "(50mm) 에서 8" (203.2mm) 까지 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 공정 챔버는 석영 상벽이 장착 된 밀봉 된 스테인레스 스틸 인클로저입니다. 이를 통해 가열과 냉각이 빠르고, 부식성 및 위험 물질과의 호환성을 보장할 수 있습니다. 챔버에는 프로세스 격리 및 제어가 개선되는 독특한 이중 플레이트 디자인이 있습니다. 또한 프로세스 무결성 및 수율을 유지하기 위해 정교한 압력 트랜스듀서가 장착되어 있습니다. 온트랙 키요 45 (ONTRAK Kiyo 45) 는 또한 광범위한 전력 수준 및 프로세스 레시피 유연성을 생산하는 고급 플라즈마 소스 기술을 제공합니다. 기판 손상 없이 동시에 에칭 및 애싱 (ashing) 을 허용하며, 초박막 에칭 및 증착뿐만 아니라 방향성 및 이방성 에칭을 제공합니다. 이 장치 는 또한 견고 한 진공 "시스템 '을 갖추고 있어서 신속 히 대피 하고, 공정 시간 을 최적화 할 수 있다. LAM RESEARCH Kiyo 45는 높은 수준의 자동화 및 운영자 제어를 자랑합니다. 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 모든 기능을 갖춘 데이터 관리 기능을 제공합니다. 고급 프로세스 모니터링 및 추적, 상세한 레시피 리콜 및 반복 기능을 제공합니다. 호환되는 ONTRAK 프로세스 키트와 함께 제공되는 Kiyo 45는 완전한 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. 여기에는 전원 공급 장치, 가스 전달 장치, 시각 기계, RF 도구, 전자 캐비닛 및 추가 액세서리가 포함됩니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45는 강력한 하드웨어 및 소프트웨어 조합으로 박막을 에치 (etch) 하고 입금하여 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다.
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