판매용 중고 LAM RESEARCH Inova #293662993

LAM RESEARCH Inova는 세라믹, 폴리머 기판 및 유리를 매우 효율적이고 정확한 에칭하도록 설계된 에처/애셔입니다. Inova는 웨이퍼 얇은, 유전체 층 에칭, 레이저 드릴링 및 반응성 이온 에칭 (RIE) 과 같은 응용 분야를위한 최고의 드라이 에칭 머신입니다. 200mm에서 150mm, 2 인치에서 6 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 처리하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Inova는 에치 레이트를 정확하게 제어하고 고급 에칭 프로세스에서 더 높은 수율을 제공하도록 설계되었습니다. Inova는 산업 수준의 능력을 갖춘 고급 에처입니다. LAM RESEARCH Inova에는 다양한 프로세스에 대한 다양한 도구가 장착 될 수 있습니다. 웨이퍼를 처리하기위한 완전 자동화 된 로봇 시스템이 특징입니다. 또한 고속 에칭을 가능하게하는 플라즈마 소스 모듈도 포함되어 있습니다. 또한 이노바 (Inova) 는 스테퍼 모터, 금속 스핀들, 다양한 이미징 및 도량형 시스템과 같은 다른 도구 구성 요소와 통합 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Inova는 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 온도 조절 및 압력 제어를 제공합니다. 이것은 정확한 에칭 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. 또한 Inova는 다양한 프로세스 가스 제어를 제공합니다. 이 가스 스펙트럼 제어는 다양한 응용 프로그램에 유연성을 제공합니다. LAM RESEARCH Inova는 또한 기판 및 공정 오염을 처리 할 때 견고하도록 설계되었습니다. Inova에는 빠른 처리 시간을 허용하는 고정밀 로드 및 언로드 스테이션 (옵션) 이 포함됩니다. 또한 LAM RESEARCH Inova는 에칭 프로세스의 품질과 신뢰성을 보장하기 위해 원격으로 자동화 및 모니터링할 수 있습니다. 이 에처는 반도체 제조, MEMS 제조, 태양전지 제조 등 다양한 응용 분야와 산업에서도 사용할 수 있습니다. 이노바 (Inova) 는 여러 에칭 프로세스에 대해 일관되고 반복 가능한 성능을 제공하는 고급 도구입니다. 이 신빙성 있고 정확 한 기계 는 더 높은 "수익률 '과 더 나은 결과 를 보장 하도록 설계 되었다. 또한 LAM RESEARCH Inova는 유연성과 제어를 제공하는 올인원 에칭 시스템입니다. 이러한 기능은 Inova를 다양한 응용 프로그램에 이상적인 도구로 만듭니다.