판매용 중고 LAM RESEARCH Inova #293610308

LAM RESEARCH Inova는 높은 처리량 및 정밀 프로세스 제어를 갖춘 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 제품은 시장의 최신 장비로, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행할 때 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 제공합니다. Inova 시스템은 광범위한 etch 및 ash 프로세스 작업을 처리하도록 설계되었습니다. 고급 초고속 스퍼터 에칭/애싱 (sputter etching/ashing) 메커니즘으로 설계되어 시판되는 다른 에처/애셔 (etcher/asher) 장치보다 높은 스텝 오버 및 해상도에서 품질 에치 (etch) 및 임의의 재 기능 너비를 제공 할 수 있습니다. 이 기능은 LAM RESEARCH Inova에게 높은 수준의 프로세스 제어 및 반복 성을 제공하며, 반도체 제조 응용 프로그램에 적합합니다. 이 기계는 Etchback, Mechanized Etch 및 Reactive Ion Etch (RIE) 를 포함한 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 또한 고급 PECE (Plasma Enhanced Chemical Etch) 기능을 통해 프로세스 조건에서 유연성이 향상되고 시간이 지남에 따라 조정 할 수 있습니다 (챔버가 진공 상태에서도). Inova에는 APC (Adaptive Process Control), APC (Advanced Profile Control) 및 APC (Adaptive Profile Control) 기술과 같은 다양한 사용자 정의 가능한 기능도 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 프로세스 시퀀스 (process sequence) 를 즉석에서 변경하고 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 요구 사항에 맞게 미세하게 조정할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Inova에는 자동 레시피 로딩 (Automatic Recipe Loading) 도구가 있습니다. 이 도구는 사용자가 제공한 레시피를 컨트롤러에 로드하여 한 프로세스에서 다른 프로세스로 쉽게 전환할 수 있습니다. 따라서 처리량이 향상되고 운영자의 개입이 줄어듭니다. 또한 이노바 (Inova) 는 사용자 정의 솔루션 (custom-tailored solutions) 을 포함한 광범위한 에치 레시피 라이브러리와 사용자가 원하는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 조건을 쉽게 달성 할 수있는 자체 내부 레시피를 자랑합니다. 또한 직관적이고 사용하기 쉬운 인터페이스와 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 LAM 리서치 이노바 (LAM RESEARCH Inova) 는 제한된 운영자 경험에도 불구하고 단순하고 간단한 프로세스 제어 방법을 제공합니다. 이노바 (Inova) 는 에치 (etch) 와 애싱 (ashing) 을 모두 지원하는 강력한 툴로서 사용자에게 최고의 수준의 프로세스 제어 및 유연성을 제공합니다. LAM 리서치 이노바 (LAM RESEARCH Inova) 는 강력하고 안정적인 설계로 광범위한 반도체 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.