판매용 중고 LAM RESEARCH G3D #293637257

LAM RESEARCH G3D (이전의 Varian G3D) 는 고급 반도체 제조 공정을 위한 고급 에처 및 애셔입니다. LAM RESEARCH G3D (LAM RESEARCH G3D) 는 소형 기판에서 적당한 크기의 기판을 에칭, 애싱 및 청소하고, 동시에 높은 처리율로 얇은 재료 필름을 퇴적시킬 수있는 대형 기계입니다. 고급 듀얼 마그네트론 (Dual-Magnetron) 프로세스를 통해 높은 수준의 프로세스 균일성과 신뢰성을 제공합니다. G3D에는 반도체 칩의 고품질 생산을 보장하는 여러 기능이 있습니다. 완전 진공 장비 는 "칩 '을 손상 시킬 수 있는 오염 물질 이나 다른 요소 들 에" 웨이퍼' 나 기판 이 노출 되지 않도록 한다. 또한 다양한 사용자 구성 가능한 설정 (setting) 과 반응성 높은 반응 제어 장치 (reactivity control unit) 를 갖춘 강력한 프로세스 제어 시스템을 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH G3D에는 2 개의 고온 난방 구역이 있으며, 이를 통해 화합물 반도체와 박막 재료를 포함한 다양한 유형의 재료를 빠르게 처리 할 수 있습니다. 가변 압력 에치 챔버 (etch chamber) 는 더 섬세하게 에칭 할 수있는 반면, 큰 진공 챔버는 "필터링 효과" 의 가능성을 줄이는 데 도움이됩니다. G3D의 빠른 처리량 및 고품질 생산은 반도체 제조에 이상적입니다. 디스플레이 (Display), MEMS 및 LED 산업과 같은 다양한 다른 프로세스에도 적합합니다. 또한 LAM RESEARCH G3D는 고효율 플라스마 에칭 및 애싱 기능으로 인해 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. G3D에는 또한 운영자가 위험한 상황으로부터 보호하도록 설계된 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 사용자가 구성할 수 있는 모든 매개 변수를 모니터링하고, 이러한 설정의 변경 사항을 연산자에게 알리고, 잘못된 설정이나 프로세스 오류를 방지하는 통합 안전 장치 (Integrated Safety Machine) 가 있습니다. 방의 위험한 압력 변동에 대해 경고하기 위해 저압 경보 도구 (low-pressure alarming tool) 도 포함됩니다. 전반적으로 LAM RESEARCH G3D는 높은 수준의 성능과 신뢰성을 가진 고급 에처 (etcher) 및 애셔입니다. 이 제품은 다양한 사용자 구성 가능한 설정, 2 개의 고온 난방 영역, 저압 경보 자산 (low-pressure alarming asset) 을 갖춘 반도체 제조 및 기타 산업을 위한 효과적인 솔루션을 제공합니다. G3D 는 다양한 프로세스에 적합하므로, 비용 효율적이고 고품질 생산이 가능합니다.