판매용 중고 LAM RESEARCH Flex #293824447

LAM RESEARCH Flex
제조사
LAM RESEARCH
모델
Flex
ID: 293824447
Atomic Layer Etching (ALE) system.
LAM RESEARCH Flex (LAM RESEARCH Flex) 는 복잡한 구성 요소 생산을 위해 높은 수준의 세부 사항과 정확성을 제공하도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 도구입니다. 이 장비는 박막 장치에서 MEMS 구성 요소에 이르기까지 다양한 제품을 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 다용도가 높고 신뢰성이 높아 반도체 (semiconductor) 업계의 광범위한 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문). 이 장치에는 고급 압력 제어 장치 (Advanced Pressure Control Machine) 가 있어 각 에칭 및 애싱 프로세스에 필요한 정확한 압력 임계 값을 설정할 수 있습니다. 이를 통해 각 실행에서 최대 수준의 품질이 달성되고 섬세한 구성 요소를 손상시킬 가능성을 줄일 수 있습니다 (영문). 또한, 이 도구는 다양한 크기의 컴포넌트를 생성할 때 높은 정밀도를 유지할 수 있습니다. Flex는 또한 효능을 향상시키는 많은 추가 도구와 기술을 사용합니다. 예를 들어, 에셋은 더 빠른 주기 시간 (cycle time) 및 더 많은 수율을 위해 각 영역에 대해 정확한 온도 조절을 허용하도록 설계되었습니다. 이 모델은 또한 FFU (Forced Flow Control Unit) 를 통합하여 프로세스 중에 모든 가스가 제대로 분배되는지 확인합니다. 이 장비에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 가 포함되어 있어 각 실행의 매개변수를 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한 직관적인 그래픽 입력 시스템 (Graphic Input System) 이 포함되어 있어 연산자가 프로세스 진행 상황을 실시간으로 볼 수 있습니다. 따라서 잠재적인 문제를 신속하게 파악하고 수정할 수 있습니다. 마지막으로 LAM RESEARCH Flex는 안정성이 높고 내구성이 뛰어납니다. 각 장치 는 출하 전 에 엄격 한 품질 과 성능 "테스트 '를 받았으며, 이 기계 는 여러 해 동안 최적 의" 성능' 을 제공 하도록 설계 되었다. 이러한 기능 덕분에, 플렉스 (Flex) 는 섬세한 구성 요소와 제품의 에칭 및 재싱에 이상적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다