판매용 중고 LAM RESEARCH Flex Fx #9311093

LAM RESEARCH Flex Fx는 폴리 이마이드, 산화물, 금속 및 유리와 같은 유연한 기판을 위해 설계된 고급 멀티 스테이지 에처/애셔입니다. 독특한 디자인을 통해 사용자는 단일 챔버를 사용하여 Al, Ga 및 Si를 포함한 다양한 재료를 에치 및/또는 애셔 할 수 있습니다. 플렉스 픽스 (Flex Fx) 에는 멀티 존 플라즈마 소스가 장착되어 있으며, 에칭 또는 애싱 유형에 대한 독립적 인 제어, 에칭/애싱 전압, 전류 및 가스 화학의 정확한 조정 및 조정이 가능합니다. LAM RESEARCH Flex Fx에는 중요한 패턴 등록 및 정렬을위한 자동 "SmartMow" 시스템도 있습니다. Flex Fx는 통합된 2 구역 열 처리 기능을 갖추고 있습니다. 우회 냉각 기능으로 보충 된 난방 구역 (heating zone) 은 최대 20 ° C/second의 온도 경사 속도를 달성 할 수 있으며, 이는 높은 속도 에칭 및 기판 오리엔티어링과 같은 시간 크리티컬 프로세스를 가능하게합니다. 극도로 빠른 냉각 속도 (cooldown rate) 를 통해 여러 증착 프로세스를 빠르게 수행 할 수 있습니다. 또한 사용자는 특정 프로세스 요구 사항에 대해 램프 속도를 무시할 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex Fx에는 표본에 합리적인, 심지어 전력 분배가 적용되도록 다양한 충전 제한기가 있으며, 균일하고 고품질 에칭/애싱 결과를 제공합니다. 또한 고급 현장 의존 가스 배급 시스템 (field-dependent gas distribution system) 이 장착되어 있어 LCD 패널에 의해 모니터링되어 안정적인 성능을 제공합니다. Flex Fx 는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 포함한 포괄적인 소프트웨어 패키지와 함께 제공됩니다. 사용자는 제어 장치를 프로그래밍하여 사용자 정의 레시피를 수행하는 반면, 자동화 기능은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 간의 자동 전환을 지원합니다. LAM RESEARCH Flex Fx는 또한 여러 네트워크 프로토콜 시스템과 호환되므로 다른 자동 장비와의 완벽한 통합을 보장합니다. 결론적으로, Flex Fx는 유연한 기판에서 고품질의 결과를 만들어내는 데 이상적인 고급 멀티 스테이지 에처/애셔입니다. 고급 기능은 에치/애쉬 (etch/ash) 매개변수를 정확하게 제어하는 반면, 내장 자동화 기능은 빠른 프로세스 전환과 빠른 처리량을 지원합니다.