판매용 중고 LAM RESEARCH Flex Fx #9270876

LAM RESEARCH Flex Fx (etcher/asher) 는 반도체 산업을위한 애쉬 및 에칭 기능의 한 걸음 앞서고 있습니다. EMC VTL (Compact Footprint) 및 다중 구성을 통해 다양한 통합 시나리오를 선택할 수 있습니다. 플렉스 픽스 (Flex Fx) 는 산화물 층을 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 하는 데 정확하고 균일성을 위해 설계되었으며, 석판화 및 고급 장치 형성의 정확한 최적화에 중요한 엄격한 프로세스 및 온도 조절을 유지합니다. LAM RESEARCH Flex Fx는 대용량 생산을 위해 특별히 설계되었으며, 다양한 HF 화학 물질을 갖춘 탁월한 처리량을 제공합니다. etcher/asher 의 소스 공급 장치는 로드 잠금 (load-lock) 및 고정 설치 (fixed install) 구성으로 제공되므로 다양한 유형의 기판에서 높은 유연성을 제공합니다. 강력한 RF 생성기는 정확한 프로세스 튜닝을 위해 고효율 플라즈마 제어를 제공합니다. N2/O2/He 가스 링은 균일하고 단단한 프로세스 제어를 제공합니다. 폐쇄 루프 가스 소스 시스템 (closed-loop gas source system) 은 또한 안정적인 공정 결과를 보장하기 위해 안정적인 압력 균형 및 가스 흐름을 유지합니다. Flex Fx에는 최대 6 개의 8 인치 웨이퍼를 지원하는 대형 클리어 뷰 챔버가 제공되어 최대 처리 효율성을 제공합니다. 특별히 설계된 최고 보호 링 (Top Protection Ring) 은 챔버의 상단을 보호하여 신뢰성과 반복 성을 향상시킵니다. 이 장치에는 프로세스 유연성과 반복 성을 추가하는 두 개의 CoolPAS 제공 시스템 (옵션) 이 있습니다. LAM RESEARCH Flex Fx는 오늘날 까다로운 반도체 프로젝트에 필요한 속도와 정확도에 따라 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 강력한 빌드 및 하이엔드 기능을 통해 모든 개발/운영 환경에 적합합니다.