판매용 중고 LAM RESEARCH Flex FS #9284287

LAM RESEARCH Flex FS Asher (Etcher) 는 에치 및 클린 포토 esist, 일반 저항, 폴리머 및 기타 박막 예금을 효율적으로 제거하도록 설계된 고급 유연한 에칭 및 청소 장비입니다. 새로운 시스템은 탁월한 문제 및 기능 보장을 통해 배송 시간 및 프로세스 반복 (repeatability) 을 대폭 단축할 수 있도록 설계되었습니다. 특허를 획득한 이 설계는 시간이 지남에 따라 개선되고 유지될 수 있는 잔해와 프로세스 성능 (process performance) 을 최소화하여 최고의 처리량 (throughput) 과 공구 활용도를 제공합니다. Flex FS Asher 오퍼링은 뛰어난 균일성과 프로세스 일관성을 제공하는 듀얼 드라이브 모터 디자인을 지정합니다. 이 장치는 전용 고해상도, 고밀도 이미징 머신과 통합되어 고급 현장 (in-situ) 실시간 프로파일 모니터링이 가능합니다. 다른 기능으로는 고급 고전류 제어, 고효율 자기 압축기, 증착을위한 온보드 컨트롤, 에칭, 고속 증착 및 청소, 자동 샘플링 및 기타 옵션이 있습니다. LAM RESEARCH Flex FS (LAM RESEARCH Flex FS) 의 잘 정의 된 모듈식 아키텍처는 고객이 필요한 경우 확장된 화학 물질과 프로세스로 업그레이드할 수 있는 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이 도구는 최첨단 설계를 위해 사용자 정의 할 수 있습니다. 플렉스 FS 애셔 (Flex FS Asher) 의 독보적인 자산 설계자는 높은 수준의 처리량과 신뢰성을 위해 매우 효율적이고, 안정적이며, 반복 가능한 프로세스를 지원합니다. LAM 리서치 (LAM RESEARCH) 모델이 더 적은 단계로 많은 복잡한 에칭 레시피를 수행 할 수 있으므로 유연성을 통해 제조 비용을 절감할 수 있습니다. 내장형 모니터링을 통해 제조 프로세스 초기에 프로세스의 균일성 (unifority) 을 신속하게 분석하고, 결과를 비교하고, 잠재적인 문제를 파악할 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex FS Asher는 펄스 설계를 최적화하여 기판의 손상을 최소화하고, 정적 충전의 영향을 최소화하고, 프로세스 변화를 줄이고, 레시피 구동 고압 펄스 플라즈마로 청소를 개선합니다. 이 장비는 전방 (forward) 과 역방향 (reverse) 바이어스를 도입하지 않고 180nm까지 크기 크기의 필름을 포함하여 패턴 화 포토 esist, 폴리머 및 기타 필름을 제거하도록 설계되었습니다. Flex FS 플라즈마 시스템은 열악한 화학 목욕 또는 고압 플러싱 (flushing) 을 필요로 하지 않으며, 시간과 자원을 절약합니다. LAM RESEARCH Flex FS (LAM RESEARCH Flex FS) 는 고급 디바이스의 빠르고 경제적인 처리에 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 에칭 장치입니다. FS 애셔 머신 (FS Asher Machine) 은 에칭 프로세스를 간소화하고, 출시 시간을 단축하고, 높은 수준의 균일성을 제공함으로써, 장치 생산을 최적화하여 최적의 수익률과 출시 시간을 제공합니다.