판매용 중고 LAM RESEARCH FLEX DS #9358667

LAM RESEARCH FLEX DS는 다양한 요구를 충족하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 기계는 모듈식 (modular) 방식이며, 대부분의 유형의 화학과의 호환성을 포함하여 고객의 정확한 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 고급 듀얼 스테이지 에칭을 통합하여 우수한 프로파일 제어를 통해 정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 기능을 제공합니다. 이 시스템은 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 뛰어난 다용성과 모듈성을 제공합니다. 프런트 엔드 (front end) 에서 장치는 재료 처리 챔버와 최적화된 웨이퍼 로드/언로드 시스템을 통합하여 최대의 로드 생산성을 보장합니다. 또한 프레임 및 컨택트 전송 (Contact Transfer) 을 모두 지원하며, 여러 가지 출력 팔레트 구성을 허용하며, 표준 팔레트 및 카세트 크기와의 호환성을 제공합니다. 백엔드에서, 기계는 광범위한 에칭 및 애싱 기술을 제공합니다. 여기에는 화학 공정 챔버, 플래튼 히터 도구, 유해 폐기물 챔버, 벤츄리 진공 펌프, 공정 제어 장치, 고급 가스 제어 시스템 및 기타 여러 필수 공정 제어 기능이 포함됩니다. 에셋에는 전체 레시피 라이브러리 (library of recipe) 도 포함되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 정확한 프로세스 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 레시피 (레시피) 는 카테고리로 구성되므로 사용자는 특정 요구 사항에 맞는 최상의 레시피를 신속하게 찾을 수 있습니다. FLEX DS는 안전을 염두에 두고 설계되었습니다. 여기에는 복잡한 안전 기능 (예: 원격으로 모니터링되는 프로세스 모니터링) 이 포함되어 있어 운영자의 안전을 보장합니다. 또한, 이 모델에는 눈에 잘 보이는 샘플링 포트 (sampling port) 가 포함되어 있으며, 안전하고 깨끗한 환경을 유지하며, 글로벌 근로자 안전법 (Global Worker Safety Laws) 을 준수하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH FLEX DS는 광범위한 응용 프로그램에 적합한 고급 etcher/asher 장비입니다. 탁월한 다용도, 정밀 에칭/애싱, 높은 처리량 및 포괄적인 레시피 라이브러리를 제공합니다. 또한, 안전성을 염두에두고 설계되었으며 정교한 안전 기능을 갖추고 있습니다.