판매용 중고 LAM RESEARCH FLEX DS #9270877

LAM RESEARCH FLEX DS는 고급 프로세스 통합 및 사용자 유연성을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 실리콘, 유리, 석영, 금속 등 기판에 임계, 고품질 구조를 만들기 위한 혁신적이고 경제적인 솔루션입니다. FLEX DS 는 사용된 기판 (Substrate Used) 과 원하는 결과에 따라 특정 요구 사항에 맞게 프로세스 레시피를 조정할 수 있게 해 주는 최첨단 챔버 (State-of-the-Art Chamber) 설계를 통해 프로세스 제어와 유연성을 극대화합니다. 이 시스템에는 5 차원 인사이트 프로세스 제어 장치 (in-situ process control unit) 가 장착되어 있어 프로세스가 정확하고 일관된 결과로 실행됩니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 탁월한 균일성은 정확한 차원 제어로, 사용자에게 품질과 반복성 사이의 이상적인 균형을 제공합니다. 압력 안정성 (Pressure Stability) 및 챔버 청결성 (Chamber Cleanliness) 도 보장되므로 장기적이고 신뢰할 수 있으며 깨끗한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이 강력하고 경제적인 etcher/asher는 고급 쿼츠 쇼어 헤드, 5 아크 셔터 머신 및 고급 초고속 진공 펌프를 포함한 고급 구성 요소로 구성됩니다. 진공 "펌프 '의 성능 은 정확 한 공정 제어 를 보장 하고" 펌프' 수명 을 최적화 하기 위하여 모니터링 된다. LAM RESEARCH FLEX DS는 빠른 실행 시간과 뛰어난 웨이퍼 로딩 기능도 제공합니다. 이 도구를 사용하면 챔버의 온도가 높거나 낮아질 수 있으므로 유연한 생산 스케줄링 (production scheduling) 을 수행할 수 있습니다. 또한, FLEX DS에는 필요에 따라 교환 할 수있는 교환 가능한 챔버가 있습니다. 이러한 강력한 기능의 조합으로 LAM RESEARCH FLEX DS는 모든 에칭 또는 애싱 응용 프로그램에 이상적인 솔루션이 됩니다. FLEX DS는 안전과 사용자 친화성을 염두에 두고 설계되었습니다. 에셋에는 동봉 된 에칭/애싱 챔버, 광학의 초점을 자동으로 모니터링하는 자동 초점 모델, 자동 안전 기능 및 직관적인 연산자 제어를 제공하도록 설계된 PLC (Programmable Logic Control) 가 포함됩니다. 요약하자면, LAM RESEARCH FLEX DS는 빠른 실행 시간과 정밀한 프로세스 제어를 제공하는 강력하고 경제적인 etcher/asher입니다. 이 장비는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 이 필요한 모든 어플리케이션을 처리할 수 있도록 설계되었으며 필요에 관계없이 유연한 솔루션을 제공합니다. 안전 기능, 사용자 친화적 인 설계, 교류 가능한 챔버 등으로 인해 FLEX DS 는 기판 에칭 (etching) 또는 재싱 (ashing) 이 필요한 모든 프로젝트에서 효율적이고 안정적인 선택이 가능합니다.