판매용 중고 LAM RESEARCH FLEX DS #293636663

LAM RESEARCH FLEX DS는 반도체 및 기타 고급 산업에서 미세 구조 및 기타 복잡한 구조를 만드는 데 사용되는 고급 etcher/asher 도구입니다. 이 도구는 프로파일 생성 및 프로파일 유지 관리 측면에서 프로세스 균일성을 제공합니다. FLEX DS 는 처리량 및 프로세스 정밀도를 높여 다중 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 동시에 실행할 수 있습니다. 이 도구는 멀티 챔버 구성에서 열 CVD 및 플라즈마 에칭/애싱 (Plasma Etching/Ashing) 기술과 균일성 및 프로세스 일관성이 높은 단일 웨이퍼 전송 메커니즘을 결합합니다. LAM RESEARCH FLEX DS는 처리량이 많은 15 인치 개방형, 이중 미니 수축 전송 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 내장형 진공 시스템 (vacuum system) 과 멀티 챔버 아키텍처 (multi-chamber architecture) 를 통해 각 레이어 또는 기능의 요구 사항에 따라 프로그래밍 가능한 레시피로 멀티 패스 에칭을 구현할 수 있습니다. 고선택성이 필요한 어플리케이션에서는 VHF 챔버 (VHF Chamber) 옵션을 사용하여 플라즈마 품질을 높이고 기능 에치 선택성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 FLEX DS 는 최신 실시간 데이터 수집 및 제어 시스템 (Control System) 을 통해 정확한 분석 및 자동화된 프로세스 제어를 지원합니다. 여기에는 4 개의 포켓 질량 흐름 컨트롤러, 쿼드 또는 8 진수 Photon Deposition 노출 시스템 및 공정 가스 전달 및 모니터링이 포함됩니다. 또한 계층별 자동 제어 및 프로세스 일관성을 제공하는 강력한 자동화 툴을 갖춘 운영 환경 (Operating Environment) 이 있습니다. LAM RESEARCH FLEX DS 시스템은 다양한 애플리케이션의 특정 요구를 충족하기 위해 다양한 크기와 구성으로 제공됩니다. 공정 기술 (process technologies) 은 높은 수율과 균일성에 대한 가장 까다로운 패턴화 및 증착 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. FLEX DS 시스템은 여러 산업 수준의 생산 프로세스에 통합되어, 디바이스 제작을 위한 안정적이고 반복 가능한 고수익 (high-yield) 솔루션을 제공합니다.