판매용 중고 LAM RESEARCH FLEX DS #293628303

LAM RESEARCH FLEX DS는 LAM RESEARCH에서 개발 한 완전 통합 다중 프로세스 에처/애셔 장비입니다. 에칭 (etching), 애싱 (ashing), 클리닝 (cleaning), 스트리핑 (striping), 서피스 준비 (surface preparation) 등 다양한 프로세스를 수행 할 수있는 고급 시스템입니다. 이 장치는 안전성과 생산성을 염두에 두고 설계되었으며, 단순화된 아키텍처를 통해 처리량을 극대화하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다 (영문). 이 기계는 3 개의 모듈식 구성 요소 (프로세스 모듈, 열 전원 도구 및 컨트롤러) 로 구성됩니다. 공정 모듈은 2 개의 챔버, 메인 챔버 및 버퍼 챔버로 구성됩니다. 메인 챔버에는 여러 공정 가스, 전력, 진공 포트가 장착되어 있으며 웨이퍼를 적재 및 언로드하는 데 사용됩니다. 또한 가스 배달 자산과 프로세스 무선 주파수 (RF) 전원 공급 장치가 있습니다. 버퍼 챔버는 열 제어를 사용하여 최적의 온도 균일성을 달성하고 균일성을 처리합니다. AC/DC 생성기와 솔리드 스테이트 제어 고전압 스위칭 모듈 (solid-state-controlled high voltage switching module) 로 구성된 열 전원 모델은 에칭 및 애싱 프로세스에 필요한 전원 공급 장치를 제공합니다. 전압 급증 (Voltage Surges) 및 기타 전기 이상으로부터 장비를 보호하면서 일관된 출력 전압 및 주파수를 보장합니다. 컨트롤러 모듈에는 직관적인 터치스크린 제어판 (touchscreen control panel) 이 장착되어 있어 운영자가 프로세스 가스 흐름, RF 전원, 챔버 조건 및 온도/압력 설정을 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한 데이터 기록 및 검토를 위한 데이터베이스 (내장) 와 다른 프로세스 요구에 대한 레시피 라이브러리 (Library of recipe) 도 포함되어 있습니다. 또한 레시피 관리 (recipe management), 기계 및 공구 진단 (machine and tool diagnostics), 시스템 제어 (system control) 와 같은 추가 기능의 라이브러리를 제공합니다. FLEX DS는 Si 웨이퍼, 평면 패널 디스플레이, 3D 인쇄 부품 등 다양한 기판에서 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 프로세스 균일성과 청결성을 극대화하는 진공 모니터링 장치 (vacuum monitoring unit) 도 포함되어 있습니다. 이 머신은 프로세스 반복성 (repeatability) 과 유연성 (Flexibility) 을 극대화하는 동시에 유지 관리 및 설정에 소요되는 시간을 단축할 수 있도록 설계되었습니다.