판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9358689

LAM RESEARCH Flex 45는 완전 통합 플라즈마 에칭 및 습식 에칭 기술로 매우 정밀하고 정확성을 제공하는 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 이 고성능 도구는 반도체, MEMS, 태양전지 등 다양한 재료에 대한 최적의 에칭 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. 강력한 단일 웨이퍼 레벨 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer-handling) 기능이 특징입니다. 즉, 단일 웨이퍼에 대해 여러 에칭 절차가 설정되어 있어 처리량이 높습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 중요한 형상의 배치 정확도가 우수하여 공정 제어를 철저히 할 수 있습니다. 이 정확성은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 (wafer transfer system) 을 통해 달성되며, 고급 전극 포지셔너와 결합하여 매우 정밀한 ablation 프로파일을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH Flex 45에는 수차 수정 도구가 포함되어 있어 에치 프로파일을 최적화할 수 있습니다. Flex 45에는 듀얼 스테이지, 펄스 DC 플라즈마 발전기가 장착되어 있으며, 고밀도 산소 플라스마를 생성 할 수 있으며, 고밀도 플라즈마 에칭 및 습식 에칭 응용 프로그램 모두에 사용할 수 있습니다. 이 장치는 또한 광범위한 에친트 화학 물질 (echant chemistry) 을 제공하며 자동화 된 웨이퍼 페이스 에칭 기능으로 대량 생산에 적합합니다. LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 의 편리하고 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하면 에치 (etch) 프로세스를 간편하게 설정하고, 에치 (etch) 프로세스를 모니터링하고, 분석 및 프로세스 최적화를 위한 데이터를 수집할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 일상적으로 데이터를 실시간으로 모니터링하고 평가하여 프로세스 결과를 최적화합니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 만능 전기 기계식 정렬 기능을 통해 매우 큰 형상을 에칭하여 사용자에게 최고의 유연성을 제공합니다. 이 도구에는 세로로 정확하게 정렬할 수 있는 고급 비전 머신 (Advanced Vision Machine) 이 장착되어 있어 가장 작은 기능의 고정밀 에칭이 가능합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Flex 45는 높은 처리량과 함께 정확성과 정확성을 제공하는 에칭 및 습식 에칭 (etching) 어플리케이션에 사용되는 강력하고 다양한 도구입니다. 반도체, MEMS, 태양전지 등 수많은 산업에 적합합니다.