판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9358687

LAM RESEARCH Flex 45는 주로 반도체 제작 응용 프로그램을 위해 설계된 에칭 및 애싱 머신입니다. "실리콘 '과 화합물 의 반도체 에서" 알루미늄' 과 금 에 이르는 여러 가지 물질 을 식각 할 수 있다. 독특한 디자인은 열 소스 (thermal source) 와 여러 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 특징으로하며 최대 8 "직경의 크기 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 에는 에치 속도, 선택성 및 높은 정밀도를 제어하는 기능도 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45는 RF 바이어스와 프로세스 가스 제어 (process gas control) 를 포함하여 프로세스 단계 순서를 자동으로 시퀀스하는 모션 제어 시스템에 의해 구동됩니다. 또한, 각 프로세스 챔버에서 기판을 균일하게 로드할 수 있도록 자동 웨이퍼 사전 정렬이 제공됩니다. 이 기계는 레시피 개발 및 운영자 제어를 위해 독점 소프트웨어 패키지와 인터페이스됩니다. 반도체 웨이퍼의 에칭은 매우 복잡하고 섬세한 프로세스로, 에칭 (etching) 매개변수를 정확하게 제어해야합니다. 이상적인 조건을 달성하려면 온도, 전력, 가스 유량을 정확하게 제어해야합니다. Flex 45는 RF 에너지, 마그네트론 스퍼터링, 플라즈마 에칭 등 다양한 범위의 안정적이고 테스트된 기술을 사용합니다. 또한 기계는 에칭 프로세스 조건을 정확하게 모니터링하는 통합 DIPS (Differential Pressure Sensor) 를 특징으로합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 실리콘 게르마늄 및 갈륨 아르 세르 지드 (Gallium Arsenide) 와 같은 화합물 반도체뿐만 아니라 실리콘 웨이퍼를 에칭 할 수 있습니다. 또한 "알루미늄 '이나 금 과 같은 딱딱한 금속 에칭 에도 사용 할 수 있다. 플렉스 45 (Flex 45) 의 프로세스 모듈은 다양한 프로세스 모듈과 쉽게 통합되도록 설계되어 있어 에칭 프로세스를 사용자 정의할 수 있는 높은 수준의 유연성을 제공합니다. LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 가장 효율적인 비용으로 최고 품질의 에칭을 달성하기 위해 설계되었습니다. 이 기계는 업계 최고의 표준에 따라 안전 (Safety) 과 환경 보호 (Environmental Protection) 를 염두에 두고 제작되었습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 에칭 및 애싱 (ashing) 시스템에 적합한 선택으로 에치 프로세스를 정확하게 제어하고 맞춤형 레시피를 위한 유연성을 제공합니다.