판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9358666

LAM RESEARCH Flex 45는 증착, 에칭, 평면 화, 접촉 노출 등 다양한 응용 분야를 위해 설계된 고급 에처 및 애셔 솔루션입니다. 최대 12 인치, 최대 4 웨이퍼를 장착 할 수있는 강력하고 강력한 플랫폼입니다. Flex 45는 Plasma Expression ™ (Plasma Expression ™) 기술을 활용하여 절대적인 결함이 없는 작동으로 이상적인 에칭, 애싱 성능 및 반복 가능성을 실현합니다. 또한, 이 장비에는 프로세스 및 운영자 안전 개선을 위한 최신 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 뛰어난 성능과 생산성을 위한 광범위한 옵션을 통해 높은 안정성과 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. Dynamic Process Control을 통해 실시간 프로세스 최적화 및 통합을 제공하는 고급 컨트롤러를 제공합니다. 공정 가스 제어 시스템 (process gas control system) 은 백사이드 기판 가열이 가능하며, 시스템 간에 쉽게 전송할 수있는 광범위한 공정 레시피와 프로파일을 지원합니다. 이 장치에는 최대 4 개의 기판을 동시에 전송 할 수있는 자동 웨이퍼 처리 장치 (Automated Wafer Handling Machine) 도 장착되어 있습니다. 또한 Flex 45 내부의 통합 자동화 기술은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 반복성을 보장합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 온도 측정 및 균일 성 제어를 위해 7 센서 어레이가있는 이중 벽 플라즈마 원자로를 갖추고 있습니다. 이를 통해 자동으로 정렬하고 플라즈마 균일성을 실시간으로 평가하여 플라즈마 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 또한 여러 수준의 안전 및 응급 제어, 고압 마이크로파 발전기 제어 및 비상 종료를 포함하는 고급 안전 연동 도구를 제공합니다. 생산성 측면에서 LAM RESEARCH Flex 45 는 처리 속도 향상을 위한 고효율 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 자산과 프로세스 검증 및 실시간 최적화를 위한 자동화된 데이터 로깅 모델을 제공합니다. 이 장비에는 또한 독자적인 RO (Recipe Optimization) 기술 (RO ™) 이 포함되어 있어 프로세스 품질을 그대로 유지하면서 최적의 프로세스 레시피를 신속하게 파악하고 처리량을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로, Flex 45는 높은 신뢰성 성능 및 생산 효율성을 위해 설계된 고급 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 솔루션입니다. 실시간 데이터 수집이 가능한 고급 컨트롤러, 온도 톤 및 균일성 제어를 위한 7 센서 어레이가 장착 된 이중 벽 플라즈마 (double-walled) 원자로, 처리량 향상을 위한 자동 웨이퍼 처리 시스템 등이 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Flex 45에는 최적의 프로세스 레시피를 보장하고 처리량을 극대화하는 레시피 최적화 (Recipe Optimization) 기술이 포함되어 있으며, 프로세스 및 운영자 안전성을 향상시키기 위한 포괄적인 안전 연동 장치 (Safety Interlock Unit) 및 긴급 종료를 제공합니다.