판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9358663

LAM RESEARCH Flex 45는 반도체 산업을 위해 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 이중 소스 플라즈마 장비를 특징으로하여 온와 퍼 (on-wafer) 재료를 최적으로 증착 할 수 있습니다. 완전하게 자동화된 시스템으로, 빠른 웨이퍼 변경 (wafer changes) 을 허용하는 로드록 (loadlock) 과 장기간 생산이 진행되는 동안 프로세스 챔버를 깨끗하게 유지하는 자동 플러시 (auto-flush) 를 통합합니다. Flex 45는 정밀 제어 적외선 센서와 고급 제어 소프트웨어를 사용하여 처리 환경을 정확하게 모니터링합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 200pTorr의 압력으로 설정된 0.85m2의 인테리어를 가진 공정 챔버를 가지고 있습니다. 또한 고급 RF 일치 네트워크 및 소프트웨어 컨트롤을 사용하여 각 프로세스 레시피에 대한 최적의 RF 전원을 정확하게 조정합니다. 이로 인해 매우 높은 공정 안정성, 반복성, 개선 된 플라즈마 균일성 및 더 나은 플라즈마 유발 저주파 노이즈가 발생합니다. Flex 45는 최고의 품질 및 신뢰성 표준을 달성하도록 설계되었습니다. 이 제품은 E-Stop 안전 연동 (E-Stop Safety Interlock) 과 같은 여러 가지 고급 안전 기능을 통합하여 긴급 종료 후 자동 복구 (Auto-Recovery) 및 완벽한 외부 및 내부 연동 시스템 제품군을 통합하도록 설계되었습니다. 예측 건강 모니터링은 또한 중단되지 않은 생산을 보장합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 또한 고성능, 고효율 가스 분포 하위 시스템을 갖추고 있습니다. 최대 4 개의 가스 소스를 동시에 지원할 수 있으며, 웨이퍼 당 저렴한 가스 소비를 위해 설계되었습니다. 강력한 가스 유통 네트워크 (gas distribution network) 와 독점 가스 제거 장치 (gas purging unit) 를 사용하여 입자 생성을 줄이고 프로세스 순도를 유지합니다. 플렉스 45 (Flex 45) 에는 레시피 매니저 (recipe manager) 시스템도 포함되어 있으며, 사용자는 데이터베이스의 레시피를 관리, 저장 및 분석하고 프로세스 단계를 구성할 수 있습니다. 공구 활용도를 높이고 공구 가동 시간을 유지하는 데 도움이됩니다. 마지막으로 LAM RESEARCH Flex 45는 고객 서비스와 만족도에 대한 LAM RESEARCH 헌신의 지원을 받습니다. 다양한 고객 지원 서비스가 지원되며 1 년 보증이 제공됩니다. 요컨대, Flex 45는 에칭 및 애싱 요구에 적합한 선택입니다.