판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9358660

LAM RESEARCH Flex 45 etcher/asher는 다양한 기질의 화학 또는 플라즈마 에칭 및 재싱을위한 고성능 도구입니다. 다용도, 비용 효율적인 에칭 및 애싱 솔루션으로, 빠른 속도, 높은 처리량 에칭, 애싱 (ashing) 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 저온 에칭 및 애싱; 그리고 단단한 관용 에칭과 재싱. 플렉스 45 (Flex 45) 는 가장 복잡한 에칭 및 애싱 요청을 처리하기 위해 완전 자동 프로세스 제어가 가능한 통합 RF 생성기를 갖추고 있습니다. 또한 고급 etch/ash 선택 (advanced etch/ash select) 기능을 통해 사용자는 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있으므로 처리량을 저하시키지 않고도 더 나은 성능을 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 또한 고객 프로세스의 유연성과 효율성을 최적화하기 위해 완전히 새롭게 단장된 하위 시스템을 제공합니다. 플렉스 45 (Flex 45) 에는 크고 열린 공정 챔버가 장착되어 있으며, 최대 6 인치 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 자동화된 프로세스 제어 시스템 (Automated Process Control System) 을 사용하면 전원, 기판 온도 등의 Etch/Ash 매개변수를 정확하게 제어하여 최상의 성능을 얻을 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 모든 프로세스를 모니터링하고 모니터링하는 고급 진단 기능을 제공하여 프로세스 제어를 향상시키고 뛰어난 반복성과 안정성을 제공합니다. Flex 45에는 산화물, 질화물 및 금속과 같은 다양한 에칭/애싱 화학 물질이 제공됩니다. 또한 "실리콘 니트라이드 ', 이산화규소 및" 알루미늄' 과 같은 광범위 한 기질 에서 에칭/애싱 을 할 수 있다. LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 안정적이고 반복 가능한 작동을 위해 설계되었으며 최적의 성능을 보장하는 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 마지막으로, 작은 발자국은 실험실이나 제조 시설에 쉽게 장착 할 수 있습니다.