판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9351460

LAM RESEARCH Flex 45는 대규모 생산 및 작은 다이 크기를 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 정교한 디자인과 혁신적인 기능을 통해 높은 에치 속도 (etch rate), 낮은 결함 속도 (defect rate), 향상된 수율 (revield) 을 제공할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 의 첨단 기술은 운영자가 지속적으로 변화하는 운영 라인의 요구 사항에 빠르고 효율적으로 대응할 수 있게 해 줍니다. 장비의 수직 엔지니어링 (Vertical Engineering) 을 통해 조작자는 트윈 토치와 베이스 플레이트 (Base Plate) 사이의 거리를 쉽게 변경할 수 있으며, 웨이퍼 (Wafer) 주변의 온도를 제어하면서 웨이퍼 (Wafer) 의 에칭 정도에 대한 최대의 제어를 가능하게합니다. 또한, LAM RESEARCH Flex 45는 통합 디지털 읽기 아웃 (read-out) 을 사용하여 지속적으로 모니터링 할 수있는 에치 가스의 압력과 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. Flex 45 etcher/asher는 멀티 플래튼 카세트 시스템을 갖추고 있으며, 웨이퍼의 동시 에칭 및 애싱, 처리량 증가 및 주기 시간 감소가 가능합니다. 하이 템프 쿼츠 튜브에 통합 된 다중 RF 코일 (coil) 은 디지털 튜닝을 통해 안정적인 플라즈마 에칭 성능을 제공합니다. 에칭에는 etcher/asher의 안전한 작동을 가능하게하는 몇 가지 기능도 포함되어 있습니다. 내장 온도 프로브 및 이산화탄소 폭발 제어 밸브 (CO2 explonation control valve) 와 같은 여러 안전 보호 장치가 있어 안전한 작동을 보장합니다. LAM RESEARCH Flex 45 etcher/asher는 대부분의 시스템 레이아웃 및 대량 생산 환경에 맞게 설계되었습니다. 공간 절약형 (space-saving) 설계를 통해 모든 운영 라인에 다용도로 추가되어 최고의 성능과 안정성을 제공합니다. 인체 공학적 작동 스테이션 (Ergonomic Operator Station) 은 손쉬운 운영 및 유지 관리를 가능하게 하며, LCD는 실시간 고객에게 최신 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 매개변수를 제공합니다. 유연성 향상을 위해, 시스템은 또한 여러 프로세스 (process) 기능을 추가하는 등의 하드웨어 업그레이드를 허용합니다. Flex 45 는 최고 품질의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능을 제공하도록 설계되었으며, 고급 UI (사용자 인터페이스) 는 사용자에게 결과를 신속하게 검토하고 필요한 프로세스 조정 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 첨단 엔지니어링, 안정적인 운영, 유연한 설계를 통해 대규모 생산 및 소형 다이 크기에 적합한 솔루션입니다.