판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9351459
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LAM RESEARCH Flex 45는 탁월한 성능과 뛰어난 신뢰성을 제공하는 혁신적인 비용 효율적인 etch/ash 장비입니다. 이 자동화된 시스템은 사용 및 구성이 간편한 단일 소스, 통합 하드웨어, 소프트웨어 플랫폼을 갖추고 있습니다. 통합된 멀티 챔버 (multi-chamber) 설계는 유연성과 다양한 옵션을 제공하여 사용자가 특정 에칭/애쉬 (eching/ash) 요구 사항을 가장 잘 충족하도록 도구를 구성할 수 있도록 해줍니다. Flex 45는 etching, reactive ion etching (RIE) 및 ash 모드를 포함하여 9 가지 프로세스 모드를 제공합니다. 또한 개방형 아키텍처를 통해 높은 수준의 사용자 정의가 가능합니다. 사용자는 다양한 에칭 (etching), 애쉬 화학 물질 (ash chemistry) 및 챔버 (chamber) 구성 중에서 선택하여 응용 프로그램의 특정 요구를 충족시킬 수 있습니다. 이 장치는 화학과 공정을 효율적이고 정확하게 적용하여 고품질 에치/애쉬 (etch/ash) 결과를 제공합니다. 에칭/애쉬 머신에는 빠르고 효율적인 기판 좌석 및 샘플 전송을 보장하는 통합, 멀티 스테이지 로드 잠금 (multi-stage load-lock) 및 샘플 전송 도구가 포함되어 있습니다. 에셋의 올인원 (All-in-one) 설계를 통해 에칭/재를 위한 여러 구성 요소를 구성하지 않아도 되므로, 보다 빠르고 정확한 설정과 처리가 가능합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 매우 자동화된 기능 세트와 탁월한 프로세스 제어를 제공하는 종합적인 제어 모델을 제공합니다. 실시간 모니터링을 통해 사용자는 프로세스를 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 제어 장비는 또한 원격 모니터링 (Remote Monitoring) 및 데이터 기록 (Data Recording) 기능을 통해 프로세스 개발 및 문제 해결을 신속하게 수행할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 터치 스크린 막 입력 시스템과 안전 등급 공정 챔버 (Safety Rated Process Chamber) 를 고려하여 안전성을 고려하여 설계되었습니다. 이 장치의 올인원 (All-in-one) 설계는 필요한 안전 기능이 제품에 내장되어 있는지 확인합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Flex 45는 생산 라인 및 프로세스 개발 실험실에서 에칭 및 재에 이상적인 선택입니다. 통합된 멀티 챔버 설계, 효율적인 로딩 장치, 공정 제어 도구, 포괄적인 안전 기능을 갖춘 Flex 45 는 에칭과 재를 위한 비용 효율적이고 안정적인 툴입니다.
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