판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9315041

LAM RESEARCH Flex 45는 강력하고, 빠르고, 유연한 etcher/asher 장비로, 다양한 마이크로 및 나노 제작 응용 프로그램에 적합합니다. 습식 및 건식 플라즈마 에칭 (Etching) 및 재 클리닝 (Ash Cleaning) 을 포함하여 에치 및 애쉬 프로세스에 대한 광범위한 공정 옵션을 제공합니다. 이 시스템은 금속, 유전체, 폴리머 필름 및 도체를 포함한 다양한 재료를 에칭, 애싱 및 비활성화시킬 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 우수한 프로세스 반복성을 제공하며, 에치 프로파일과 완성된 제품의 표면 제어를 정확하게 제어할 수 있습니다. 자동 코팅 제어 장치 (Automated Coating Control Unit) 는 프로세스 최적화를 위한 자동 매개 변수 조정과 함께 다른 런과 안정적인 에치 (etch) 및 애쉬 레시피 사이의 일관성을 보장합니다. 이를 통해 일관된 프로세스와 반복 가능한 결과를 보장할 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45는 또한 특정 프로세스 조건을 가능하게하기 위해 광범위한 압력, 온도 및 가스 흐름을 갖춘 대규모 공정 챔버 (process chamber) 를 갖추고 있습니다. 이것은 금속에서 유전체, 그리고 스퍼터, 증발, PECVD, CVD 등 다양한 증착 과정에 이상적입니다. 이 시스템은 하드웨어 구성에서도 유연성을 제공합니다. 또한 고출력, 대형 챔버, 다중 챔버 (multiple chamber), 확장 종마 (extended bell jar) 및 기타 맞춤형 하드웨어 구성 옵션을 통해 고객별 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 전반적으로, 플렉스 45 (Flex 45) 는 다양한 유형의 프로세스 응용 프로그램에서 에치 프로파일, 표면 제어 및 반복성을 정확하게 제어하는 뛰어난 에처/애셔 도구입니다. 다용도이며 고객별 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45 의 빠른 성능, 대규모 프로세스 챔버 (process chamber), 다양한 프로세스 옵션을 통해 마이크로제작 및 나노제작 애플리케이션에 이상적인 솔루션을 선택할 수 있습니다.