판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9315039

LAM RESEARCH Flex 45는 광범위한 반도체 프로세스 응용 프로그램에서 사용하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 이 장비는 컴팩트하고, 매우 자동화되어, 민감한 재료를 에칭하는 효율적이고 정확한 방법을 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 견고한 재료로 제작되어 긴 시스템 수명, 효율적인 운영을 보장합니다. 이 장치는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 고급 반응 챔버를 통합하고 높은 공정 온도로 가열하여 공정 전반에 걸쳐 정밀도를 보장합니다. 반응 챔버에는 디지털 진공 압력 컨트롤러 (digital vacuum pressure controller) 가 장착되어 있어 프로세스 환경을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 챔버에는 스프레이 형 방향 인젝터 (spray-type directional injector) 가 있으며, 균일 한 에치 레이트와 최소한의 오버 에칭 (over-etching) 으로 기판을 효과적으로 식각 할 수 있습니다. Flex 45는 또한 HMI (Human Machine Interface) 를 갖춘 정교한 프로세스 컨트롤러를 통해 완전한 프로세스 제어를 지원합니다. 이 제어판은 프로그래밍 가능한 배치 매개변수 (batch parameter) 를 지원하여 운영자가 프로세스 레시피를 저장하고 필요한 경우 리콜할 수 있도록 합니다. 또한 이 컨트롤러는 수동 튜닝, 자동 열 관리 (Automatic Thermal Management), 고급 진단 데이터 등 다양한 프로세스 모니터링 옵션을 제공합니다. 이 기계는 또한 입자 필터 도구 (particle filter tool) 를 특징으로하며, 입자를 필터링하여 에칭 정확도와 기판 품질에 영향을 줄 수 있습니다. 이 입자 제어 자산은 정밀도 (etch accuracy) 와 항복 (yield) 을 향상시키고, 공정 오염 또는 입자와 관련된 다른 문제의 위험을 줄이기 위해 설계되었습니다. 마지막으로 LAM RESEARCH Flex 45에는 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 비상 차단, 안전 센서 및 공기 필터가 포함되어 있으며, 이는 가용 환경에 진입하거나 에치/애쉬 (etch/ash) 공정을 오염시킬 위험을 줄입니다. 요약하면, 플렉스 45 (Flex 45) 는 반도체 산업에 혁신적이고 신뢰할 수있는 에처/애셔 (etcher/asher) 를 제공하며, 이는 정확한 에칭 프로세스를 제공하고 잠재적 인 프로세스 위험으로부터 인원과 장비를 보호하도록 설계되었습니다. 정교한 프로세스 제어, 안전 기능 및 입자 필터링 기능을 갖춘 LAM RESEARCH Flex 45는 민감한 재료를 에칭하는 데 적합한 솔루션입니다.