판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9314598

LAM RESEARCH Flex 45는 대규모 장치 생산 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 차세대 에처/애셔입니다. 고급 설계를 통해, Flex 45 는 다양한 디바이스 아키텍처를 해결하면서, 정밀한 균일성, 효율성, 처리량을 고려합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 향상된 가동 시간을 지원하고 프로세스 반복 가능성을 보장하는 지능형, 유연한 카세트 대 카세트 장비를 갖추고 있습니다. 신속한 툴 설치 및 기판 로드 잠금 (load-lock) 배치가 가능하므로 생산성이 향상되고 유지 보수/재구성을 위한 다운타임도 줄어듭니다. 프로세스 균일성을 최적화하기 위해 선형 피치, 수직 스태거, 경사/리본 스타일 재료 등 표준 및 사용자 정의 구성을 사용할 수 있습니다. 또한, 시스템은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 응용 프로그램 모두에 다양한 스타킹 가능한 리본 금속 재료를 수용 할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 모든 프로세스 매개변수의 효율성을 실시간으로 모니터링하는 강력한 프로세스 진단 장치를 제공합니다. 이를 통해 연산자는 프로세스 변형을 신속하게 파악하고, 프로세스 변경에 신속하게 대응하고, 필요에 따라 시정 (corrective) 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 여러 온도 컨트롤러를 갖추고 있으며, 장기 실행에 걸쳐 여러 단계의 안정성과 온도가 감소합니다. 고속 디지털 I/O (I/O) 및 이더넷 (Ethernet) 통신 기능은 즉시 프로세스 상태 및 결과를 판별하여 오류를 최소화하고 출력을 증가시킵니다. 마지막으로, LAM RESEARCH Flex 45는 소모품 및 공구 안전 경보에 대한 자동 차단 (auto-shoff) 과 같은 다양한 안전 기능을 통합하여 운영자에게 신뢰할 수 있는 프로세스 제어를 보장하고 가동 시간을 더욱 향상시킵니다. 이러한 고급 도구를 조합하여, Flex 45는 대용량 생산을 위한 포괄적인 에칭/애싱 (etching/ashing) 자산을 제공합니다.