판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9314597

LAM RESEARCH Flex 45는 중요한 장치 구조에 대한 가장 까다로운 etch 및 ashing 요구 사항을 충족하도록 설계된 다중 가능 etcher/asher입니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 평면 및 3 차원 표면에서 에칭과 애싱이 모두 가능하며 전통적인 에처보다 뛰어난 성능을 제공합니다. 최적화된 레시피 빌더를 통해 LAM RESEARCH Flex 45는 모든 레시피를 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이것은 미디어 유연성 향상과 함께, Flex 45를 다양한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 이상적인 솔루션으로 만듭니다. LAM RESEARCH Flex 45는 다양한 크기의 웨이퍼 및 기판, 다양한 에치/애싱 (etch/ashing) 요구 사항을 정확하게 처리하도록 조정 가능한 플랫폼으로 설계되었습니다. 또한 간단하고 직관적인 제어 장비를 갖추고 있어 에치 레시피 (etch recipe) 또는 자동 실행 시퀀스 (automated run sequence) 사이를 빠르게 전환할 수 있습니다. 에치 챔버 (etch chamber) 와 엣지 링 (edge ring) 은 우수한 내구성을 위해 알루미늄 합금으로 구성되어 Flex 45는 압력, 온도 및 가스 흐름의 빠른 변화를 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45는 광범위한 미디어 유연성을 제공하는 최초의 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 사용자가 동시에 여러 에치 레시피를 운영 할 수 있습니다. 또한 오버 에칭 (over-etching) 및 언더 에칭 (under-etching) 을 줄이기 위해 고급 프로파일 제어 기능을 제공하는 최초의 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 또한, Flex 45 는 하드 코딩된 데이터 로깅 기능으로 활성화되어 에치 (etch) 또는 애싱 (ashing) 프로세스 동안 레시피 설정 및 활동에 대한 자세한 기록을 제공합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 또한 내장 안전 인터 록 (Safety Interlock) 시스템 및 가스 센서를 포함한 다양한 고급 안전 기능을 제공합니다. 이러한 안전 기능은 Flex 45가 항상 안전하고 호환 가능한 방식으로 작동하는지 확인합니다. 안전 연동 장치 (Safety Interlock Unit) 는 프로세스 매개변수가 잘못 설정되었을 때 Etcher/asher 작동을 방지하여 사용자가 컴퓨터를 중지하지 않고도 설정을 조정할 수 있습니다. 가스 센서 (gas sensor) 는 비활성 가스와 반응성 가스의 균형을 모니터링하여 필요한 안전 수준을 유지하고 유해한 연기가 형성되지 않도록 합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Flex 45는 다양한 에치 및 애싱 응용 분야에 이상적인 에처/애셔입니다. 직관적인 제어 도구 (Control Tool) 와 고급 미디어 유연성 (Advanced Media Flexibility) 을 통해 안전하고 안정적으로 설계되었으며, 사용자는 에치 레시피 (etch Recipe) 또는 자동 실행 시퀀스를 신속하게 전환할 수 있습니다. Flex 45는 가장 까다로운 에치 및 애쉬 요구 사항을 충족합니다.