판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9308360
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LAM RESEARCH Flex 45는 다양한 고급 어플리케이션을 위해 설계된 고성능, 완전 자동화 된 화학 에처/애셔 장비입니다. Flex 45는 다기능 공정 프로그래밍 기술을 기반으로 한 고급 etcher/asher 시스템입니다. 다양한 에칭/애싱 (etching/ashing) 어플리케이션을 위한 최고의 에치 균일성, 유연성 및 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 점점 복잡하고 민감한 3D 구조를 처리 할 때에도 뛰어난 정밀도 및 장치 대 장치 균일성을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 기계는 광범위한 강력한 프로세스 및 안전 제어 (Safety Control) 기능을 갖추고 있어 사용자가 원하는 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 최적화할 수 있습니다. 특허를 획득한 마이크로프로세서 (microprocessor) 와 독자적인 소프트웨어 (software) 로 제작되어 유지 보수 및 제어를 처리하기 위한 빠르고 정확한 피드백을 제공합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 높은 정밀도, 높은 처리량 및 고품질 웨이퍼 표면 변환을 위해 설계되었습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 화학적 사용량이 적은 높은 높은 처리량과 높은 정밀도 에치/애쉬 (etch/ash) 결과를 제공하는 효율적이고 저렴한 도구입니다. 자산 설계는 낮은 입자 유속, 낮은 수준의 배경 금속 오염, 화학에서 가스 모드로의 쉬운 전환 (changeover) 을 허용합니다. 매우 빠른 전환 시간, 수동으로 조절 가능한 증착 속도, 광범위한 프로세스 창을 제공합니다. 이 모델은 단면 및 양면, 고밀도 상호 연결, SiC, GaN 및 기타 재료를 포함한 다양한 웨이퍼 크기와 재료를 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 응용 프로그램에 따라 CMP 슬러리, PECVD 및 ALD를 포함한 다양한 고성능, 맞춤형 에치/애쉬 프로세스 모듈을 제공합니다. Flex 45는 고급 클리닝 및 에칭/애싱 솔루션도 제공합니다. 특화된 in-situ, non-contact self-cleaning 기술은 오염을 줄이고 장치 성능을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 자동화된 프로세스 제어/유지 보수 (Automated Process Control and Maintenance) 기능을 통해 운영 간소화, 다운타임 최소화, 가용성 극대화, 비용 절감 효과 제공 LAM RESEARCH Flex 45는 고급 에칭/애싱 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 시스템은 종합적인 기능을 제공하는 고성능, 완전 자동화 된 화학 에처/애셔 시스템으로, 안정적인 고정밀도, 고해상도 에칭/어싱 결과를 제공합니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 최대 유연성, 균일성, 생산성을 제공하도록 설계되었으며, 화학적, 물질의 비용과 낭비를 줄였습니다.
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