판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9298284

LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 다양한 재료의 에치 앤 애쉬 (etch and ash) 처리를 위해 효율적이고 신뢰할 수있는 플랫폼을 제공하여 다양한 응용 분야에 적용됩니다. Flex 45는 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 작동에 최적화된 챔버를 갖춘 2 개의 챔버 구성을 제공합니다. 첫 번째 챔버는 저압, 고진공 환경을 사용하여 에칭 전에 오염 물질의 웨이퍼를 청소합니다. 두 번째 챔버는 에치/애쉬 연산을 위해 플라즈마 제어 및 균일 성을 제공하도록 최적화되었습니다. LAM RESEARCH Flex 45는 다양한 웨이퍼 크기에 걸쳐 정확하고 균일 한 에칭 및 재 (ash) 결과를 허용하는 다양한 기능을 제공합니다. 특히, 고급 자동화 프로토콜 (Advanced Automation Protocol) 을 사용하면 직관적인 메뉴 기반 소프트웨어를 사용하여 에치 레시피를 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 에는 다양한 센서와 모니터가 포함되어 있어 최고의 성능을 보장하기 위해 조건이 제대로 유지되고 있는지 확인합니다. LAM 리서치 플렉스 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 에는 고출력 무선 주파수 전원, 수직 및 수평 챔버를위한 다중 척 (Multiple Chuck) 설계, 수많은 가스 전달 시스템 등 유연한 에칭 기능을위한 광범위한 처리 구성 요소 및 재료가 장착되어 있습니다. 이 구성 요소는 Flex 45의 독점적 인 이중 영역 에치/애쉬 제어 시스템 (edch time, 가스 압력, 온도) 과 결합하여 특정 재료 및 응용 프로그램에 대한 에칭 및 애쉬 프로세스를 최적화하는 데 사용할 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45는 또한 잠재적 인 위험으로부터 직원을 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 경보 발생 시 자동화된 비상 차단 기능, 프로세스 가스, 진공 수준, 온도 모니터링 기능, 특정 영역에 대한 액세스를 제한하는 통합 액세스 제어 시스템 (Integrated Access Control System) 이 포함됩니다. precision etch/ash 기술, 고급 자동화 기능, 강력한 안전 기능을 결합한 Flex 45는 빠르고 효율적인 처리에 이상적인 플랫폼입니다. LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 신뢰할 수 있고 유연한 etcher/asher로 여러 재료에서 반복 가능한 결과와 최고 수준의 성능을 제공합니다.