판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9298282

LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 다양한 재료와 프로세스에 대한 생산 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능, 고성능 에치/애셔입니다. 이 다용도 장비는 다중 파형 RF 전원, DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 및 고급 프로세스 제어와 같은 고급 기술을 갖추고 있습니다. Flex 45는 익스트림 자외선 마스크와 고해상도 전자 빔 리소그래피 (electron-beam lithography) 를 사용하여 서브 미크론 해상도로 웨이퍼에 패턴을 만듭니다. 또한 LAM RESEARCH Flex 45는 고급 프로세스 제어 하드웨어를 사용하여 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 프로세스에 영향을 미치는 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 여러 가스의 기능을 제공하며, 단일 웨이퍼 (wafer) 또는 다중 웨이퍼 (multiple wafer) 레시피를 신속하게 실행할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 장치는 반복성과 안정성으로 유명하여 오랜 시간에 걸쳐 균일 한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이것은 기계가 우수한 반복성과 프로세스 부산물 (process byproduct) 의 분포를 유지한다는 사실에 의해 뒷받침됩니다. 또한 공구의 전반적인 일관성을 통해 프로세스 차이로 인한 라인 (line) 다운타임을 줄일 수 있습니다. LAM RESEARCH 기술 노하우 및 제품 혁신에 대한 열정으로 인해 LAM RESEARCH Flex 45는 에칭/애싱 프로세스의 효율성을 향상시키는 고급 자동화 기능을 제공합니다. 뛰어난 기능으로는 SAC (Selective Area Cleansing) 가 있습니다. SAC (Selective Area Cleansing) 는 도구에서 도구로 인한 예상치 못한 재해 수를 줄이는 KEM (Kinetic Energy Management) 뿐만 아니라 에치 영역을 빠르고 효과적으로 청소하는 데 도움이됩니다. 상호 작용. Flex 45에는 견고성과 다재다능성이 함께 제공됩니다. 이 에치/애셔 (etch/ashers) 는 다양한 기판에서 다양한 작업을 수행할 수 있으며, 엄격한 성능 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고급 (Advanced) 기능을 통해 사용자는 기존 프로세스에 비해 짧은 시간 내에 복잡한 제품을 생산할 수 있습니다. 이 자산은 또한 높은 수준의 프로세스 품질 제어 (Quality Control) 기능을 제공하여 다운타임을 최소화하고 일관된 프로세스를 보장합니다.