판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9281284

LAM RESEARCH Flex 45는 다양한 반도체 응용 분야를위한 PECVD 에처/애셔입니다. 이 고급 etcher/asher는 크기, 균일성 및 이방성에 대한 정밀 제어를 통해 고해상도 프로세스 기능을 제공합니다. Flex 45의 챔버 디자인은 평평한 바닥 소스-드레인 격리와 높은 진공 챔버를 특징으로합니다. 이 챔버 (chamber) 는 프로세스 드리프트 (drift) 를 줄이고 기판 균일성을 최적화하여 프로세서가 더 높은 수준의 성능에 도달하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 각 사용자의 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있는 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이중 계층, 다중 결정 실리콘 프로세스는 조절 가능한 기판 히터 및 고급 질량 흐름 컨트롤러 (MFC) 에 의해 활성화됩니다. 이를 통해 최소 광저항 출혈 (photoresist bleed) 과 최소 도펀트 흡수로 고품질 결과에 최적화됩니다. 사전 예방적 유지 관리 (Preventative Maintenance) 기능이 내장되어 있어 다운타임을 줄이고 시스템이 정기적으로 유지 보수하여 프로세스 오류를 방지할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 에는 챔버가 열린 경우 자동 프로세스 차단, 비상 도어 차단, 온도 설정 점 제한 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 오류가 최소화되고 사용자가 안전하게 보호됩니다. LAM RESEARCH Flex 45는 고급 반도체 제어 모듈 (SCM) 로 구동됩니다. 이 고급 컨트롤러는 에치 (etch) 레시피를 실시간으로 모니터링하고 조정하는 한편, 에치 (etch) 프로세스의 고급 보고 기능과 추적 기능을 제공합니다. Flex 45 는 다운타임과 탁월한 프로세스 품질을 최소화하면서 처리량을 극대화하고, 균일성을 높이도록 설계되었습니다. 반도체 디바이스의 대용량 생산에 이상적이며, 광범위한 기술에 비용 효율적이고 안정적인 결과를 제공합니다 (영문).