판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9260520

LAM RESEARCH Flex 45는 정밀 웨이퍼 처리에 이상적인 고정밀 에처/애셔입니다. 생산성 및 다양성 향상을 위해 특별히 개발되었습니다. 이 툴은 지속적으로 움직이는 프로세스를 제공하여 처리량이 높고 주기가 짧습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 단일 도구에서 에치 (etch) 프로세스와 애쉬 (ash) 프로세스를 모두 조합하여 높은 처리율로 뛰어난 결과를 제공합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 프로세스를 동시에 수행 할 수있는 단일 챔버 프로세스를 특징으로합니다. 같은 챔버에서 에치 (etch) 와 애쉬 (ash) 공정을 조합하면 제조 단계가 적은 고품질 제품이 가능합니다. 이 고정밀 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 프로세스는 처리량 극대화, 주기 시간 최소화 및 유지 관리 최소화를 위해 설계되었습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 웨이퍼를 옮길 필요없이 여러 웨이퍼를 병렬로 처리하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH Flex 45의 디자인에는 반대 방향으로 움직이는 2 개의 쿼츠 플래튼 시스템이 포함되어 있습니다. 이 2 플래튼 장비는 웨이퍼 변형 및 오정을 최소화하여 반복성을 향상시킵니다. 플래튼 시스템은 또한 입자 생성을 최소화하는 데 도움이됩니다. Flex 45 etcher/asher에는 고급 프로세스 제어 및 모니터링 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 온보드, 실시간 데이터 수집 장치 (Real-Time Data Collection Unit) 로 구성되며 프로세스 조건을 최적화하기 위한 자동 또는 수동 매개변수 조정이 가능합니다. 이 소프트웨어에는 온보드 종 모니터링 머신 (on-board species monitoring machine) 이 포함되어 여러 프로세스 조건에 따라 다른 Etch 및 Ash 프로세스가 어떤 영향을 받는지 평가합니다. LAM RESEARCH Flex 45는 딥 웨이퍼 에칭과 같은 높은 열 부하를 안전하게 처리하도록 설계되었습니다. 또한 각기 다른 종류의 도자기, 알루미늄, 티타늄 등 다양한 재료를 지원합니다. 또한 금속, 유전체, 전기 발광 물질 등 퇴적물로 표면을 처리 할 수 있습니다. Flex 45는 빠른 처리량으로 반복 가능한 균일 한 에칭/애싱 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 또한 유지보수를 최소화하고 생산성을 높일 수 있는 강력한 툴 설계를 갖추고 있습니다.