판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #9241255

LAM RESEARCH Flex 45 Asher는 습식 및 건식 에칭 프로세스를 모두 수행하는 고정밀 도구입니다. 이 장비는 정확한 Latitude 제어와 유연성을 갖춘 정밀 에칭 (etching) 및 클리닝 기능을 제공하도록 설계되었습니다. Flex 45의 독특한 특징으로는 강력하고, 자체 포함 된, 이온 빔 에칭 챔버, 다양한 에칭 및 클리닝 프로세스, 소프트 및 하드 재료 처리 기능 등이 있습니다. 이 장비는 선형 (linear) 및 회전 (rotational) 변위 제어 및 다단계 프로세스를 수행할 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45 시스템에는 기판을 에치 및 청소하는 데 사용되는 저온 플라즈마 소스를 함유하는 진공 타이트 챔버 (vacuum tight chamber) 가 포함되어 있습니다. 이 플라즈마 소스는 희생 및 선택적 에칭 (etching) 및 건식 청소 기능을 위해 설계되었습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 에는 또한 정확한 방향 및 각도 위치와 함께 기판을 처리 위치 (processing position) 로 이동 및 벗어나는 기능이있는 로봇 암이 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45에는 로봇 암과 함께 PC 기반 소프트웨어, 데이터 로거 및 공압 타이머로 완성 된 프로세스 제어 장치 (etching process) 가 포함되어 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 의 유연성은 다양한 재료 세트에서 다양한 에칭 프로세스를 수행하도록 설계된 공구로 주요 판매 지점이되었습니다. LAM RESEARCH Flex 45는 단일 및 다중 단계 프로세스를 통해 스트립 에칭뿐만 아니라 RIE 및 DRIE 에칭을 수행 할 수 있습니다. 또한, 플렉스 45 (Flex 45) 는 이온 빔 에칭 공정을 제공 할 수 있는데, 이는 질화 알루미늄과 같은 에치 재료에 이상적인 기술이다. 이러한 특수 에칭 프로세스 외에도, LAM RESEARCH Flex 45에는 습식 에칭 (wet etching) 및 클리닝 프로세스 (cleaning process) 와 다양한 사전 조건화 주기가 포함되어 있어 최고의 프로세스 반복성과 정확성을 보장합니다. 직관적인 Flex 45 운영 체제 (Operating Machine) 를 사용하면 성공적인 에칭 또는 클리닝 프로세스에 필수적인 모든 매개변수를 제어할 수 있습니다. 완전하게 자동화된 프로세스 제어 도구는 LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 에 자체 모니터링 기능을 제공하여 프로세스의 모든 단계를 정확하고 효율적으로 수행할 수 있도록 합니다. 고급 자동화 기능과 함께 사용할 수 있는 프로세스 수가 많을수록 Flex 45 는 모든 에칭 (etching) 또는 클리닝 (cleaning) 작업에 이상적인 툴이 됩니다.