판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #293809879
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ID: 293809879
빈티지: 2007, 2009
Etchers
(1) Equipment Front-End Module (EFEM)
(1) Transport Module (TM)
(1) Gate Interface Box (GIB)
(3) C/Bs
(3) Gas boxes
(3) RF carts
(1) Air Conditioning (AC) rack
(1) Remote Process Data Box (RPDB)
(3) Load ports
Covers
(2) Parts boxes
2007, 2009 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45는 주로 고급 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 에치/애셔 도구입니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 초소형 패키지에서 높은 처리량 에칭 및 애싱 (ashing) 기능을 제공하여 공간 요구 사항을 최소화하면서 프로세스 유연성을 향상시킵니다. LAM RESEARCH Flex 45는 대용량 병렬 처리와 같은 고급 장비 기능을 통해 다양한 필름 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 수용할 수 있습니다. Flex 45는 동적 프로세스 매개 변수를 통해 다양한 웨이퍼에서 균일성을 지원합니다. 이러한 매개변수는 운영자 콘솔의 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 조정할 수 있으며, 기판 튜닝 (substrate tuning), 가스 흐름 제어 (gas flow control) 및 소스 전원 (source power) 을 포함할 수 있습니다. 다중 주파수 전원 공급 장치 (Multi-Frequency Power Source) 의 가용성으로, 특정 채널 또는 웨이퍼 (Wafer) 에 적합한 전원을 선택할 수 있으므로 처리량과 품질이 향상됩니다. 인상적인 에치 및 애싱 기능과 함께 LAM RESEARCH Flex 45는 작동 중에 필수적인 고급 안전 기능을 제공합니다. 공짜로 프로그래밍할 수 있는 안전 연결 (Safety Interlock) 과 작동 온도가 특정 사용자정의 임계값을 초과하면 긴급 종료 (Emergency Shutdown) 가 발생합니다. 이는 인력, 재료 및 장비의 보호를 보장합니다. 최상의 결과를 얻으려면, 적절한 Flex 45 운영에 필요한 적절한 교육 및 유지 보수가 필요합니다. 포괄적인 교육 절차를 통해 사용자는 모든 작업 (operation) 또는 프로세스 (process) 관련 문제를 처리하는 데 필요한 툴과 지식을 얻을 수 있습니다. 유지 보수 프로그램의 일환으로, 주간 현장 검사 (Field Inspection) 를 실시하여 적절한 운영을 보장하고 예상치 못한 다운타임을 방지합니다. 결론적으로 LAM RESEARCH Flex 45는 반도체 산업의 응용 분야에 이상적인 고급형 etcher/asher입니다. 다중 주파수 전원, 프로세스 매개변수 튜닝 기능, 안전 (Safety) 기능 등으로 인해 Flex 45는 높은 처리량과 높은 품질의 결과를 제공합니다. LAM 리서치 플렉스 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 적절한 교육 및 유지 보수와 함께, 최신 반도체 장치 제작 프로세스의 성공에 기본이 될 수있는 안정적이고 사용하기 쉬운 도구입니다.
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