판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #293652872

LAM RESEARCH Flex 45는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 분야에서 복잡한 기판 및 응용 프로그램을 매우 정확하고 안정적으로 처리 할 수 있도록 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 첨단 동작 및 온도 조절을 통해 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 업계의 주요 어플리케이션을 위한 탁월한 프로세스 균일성, 높은 처리량, 강력한 기능-기능 차원 제어 기능을 제공합니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 마이크로 머신 마이크로 셀렉트 로드 기술과 연계 된 풀 필드, 진정한 등방성, 정전기 결합 플라즈마 (CCP) 에칭 기능이 장착되어 매우 고해상도 에칭 성능을 제공합니다. LAM 리서치 플렉스 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 프로세스 중 에너지 커플링 및 전력 밀도를 더 잘 제어함으로써 프로세싱 불일치를 일으킬 수있는 불균일 한 플라즈마 노출로 인해 처리 시간을 최소화하고 원치 않는 부작용을 최소화 할 수 있습니다. 또한, 플렉스 45 (Flex 45) 는 강력한 컨트롤러로 고급 프로세스 제어를 제공하여, 노출, 온도 및 기타 매개변수를 신속하게 조정할 수 있도록 실시간 프로세스 모니터링을 지원합니다. 그것 은 견고 한 구조 "프레임 '과" 스테인리스' "스틸 챔버 '로 견고 하게 만들어졌는데, 이" 스틸 챔버' 는 광범위 한 공정 조건 에 걸쳐서 뛰어난 열적· 기계적 안정성 을 제공 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 또한 매우 정확하고 반복 가능한 레시피 제어 가스 관리를 제공하는 정교한 IGMS (Inert Gas Management System) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 안정적이고 효율적인 플라즈마 공정이 보장되며, 공정 매개변수 (process parameters), 고수율 에치 (high-yield etch) 또는 애싱 (ashing) 생산이 완벽하게 제어됩니다. 마지막으로 LAM RESEARCH Flex 45에는 포괄적인 ICT (Interface and Communication Terminal) 가 포함되어 있어 자동화된 프로세스 제어 및 데이터 획득의 모든 측면을 관리하는 데 도움이됩니다. 이 단말기는 프로그래밍 시간과 노력을 줄이고, 운영자가 레시피에 쉽게 액세스하고, 매개변수를 설정할 수 있도록 합니다. 오류 모니터링, 매개변수 기록, 가변 디스플레이 기능과 직관적인 사용자 인터페이스가 특징입니다. 이를 통해 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를위한 강력한 도구가 됩니다.