판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #293589578

LAM RESEARCH Flex 45 (etcher/asher) 는 반도체 산업에 사용되는 고급 에칭 장비입니다. 이 견고하고 다기능 도구는 복잡한 에칭 작업을 실행하는 데 필요한 유연성을 제공합니다. 고전압 전력, 내장 프로세스, 고정밀도 및 강력한 재료를 활용하는 Flex 45는 고품질 결과를 낼 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45의 설계는 유연성과 프로세스 기능에 중점을 둡니다. 사용자 선택 가능 에치 챔버 (etch chamber) 크기 (최대 45cm) 가 장착되어 있어 사용자가 특정 요구에 맞게 기능을 사용자 정의할 수 있습니다. 응용 프로그램의 크기와 복잡성에 따라, 같은 크기의 여러 챔버 (chamber) 또는 여러 챔버 (chamber) 를 혼합하여 작업을 직접 실행할 수 있습니다. 이 도구에는 프로세스 매개변수를 조정하고 다양한 에치 레시피 (etch recipe) 에서 선택할 수 있는 최신 RF 펄싱 (RF pulsing) 기술이 적용되어 다양한 재료와 복잡한 에치 작업을 수용할 수 있습니다. 또한, 다중 챔버에 단일 생성기를 사용함으로써, 다른 에치 (etch) 애플리케이션에 추가 하드웨어나 소프트웨어가 필요하지 않습니다. Flex 45는 정확성을 보장하기 위해 완전히 기계적인 "개방형 루프 (open-loop)" 설계를 통해 재생성 가능한 에치 프로세스를 보장합니다. 통합 이산화탄소 (CO2) 레이저 소스와 함께, 공정 변이가 줄어들고, 가능한 오류가 줄어들고, 각 에치 레시피의 처리량을 증가시킵니다. 또한 etch-back 또는 chemical mechanical planarization과 같은 화학 응용 프로그램과 결합하여 DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 와 같은 중요한 기능을 가져올 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45는 신뢰할 수있는 에칭 시스템으로, 오랜 시간에 걸쳐 안정성을 유지하도록 설계되었습니다. 또한 많은 고객 서비스/지원 옵션 (customer service and support options) 을 통해 시스템과 하드웨어/소프트웨어의 유지 관리를 보장할 수 있습니다. 결론적으로, Flex 45는 원하는 고품질 결과를 유지하면서 최적의 유연성, 정밀성, 신뢰성을 제공하는 고급 etcher/asher입니다.