판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #293589576

LAM RESEARCH Flex 45
ID: 293589576
빈티지: 2007
Etcher 2007 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 최신 장비 모니터링 및 제어 기술을 활용하여 처리량을 극대화하고 균일하고 고품질의 결과를 만들어내는 고급 에치/애셔 (etch/asher) 솔루션입니다. 이 시스템의 독특한 다양성을 통해 다양한 공정 화학 물질 (process chemistry) 로 광범위한 기질을 효과적으로 처리 할 수 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 에칭/아스퍼링 사이클을 자동화하여 반복 가능하고 예측 가능한 성능을 제공하는 직관적인 제어 장치를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 유연한 하드웨어 아키텍처와 고급 프로세스 제어 (process controls) 를 결합하여 신뢰할 수 있는 고수율 프로세스를 생성합니다. 공정 헤드 (process head) 가 최대 16개까지 채워져 있으며, 각 공구에는 온도 조절이 장착되어 있으며, 공정 기능이 추가되어 여러 기판과 재료를 동시에 처리할 수 있습니다. 에칭/아스퍼링 프로세스는 LAM RESEARCH Flex 45의 고급 프로세스 컨트롤러와 사용자 친화적 인 소프트웨어로 관리됩니다. 에셋의 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 초보자 사용자조차도 에칭 (etching) 및 아스퍼링 (asphering) 주기를 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 고급 사용자는 모델의 광범위한 프로세스 모니터링 및 제어 기능의 이점을 누릴 수 있습니다. 다용도 처리 외에도, Flex 45는 정확한 온도, 전력 및 압력 관리를 통해 뛰어난 프로세스 종점 제어를 제공합니다. 장비에는 다양한 고급 센서 (advanced sensor) 와 피드백 루프 (feedback loop) 가 포함되어 있어 에칭/흡인주기 전반에 걸쳐 프로세스 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 프로세스는 통합 예측 모델 엔진 (Predictive Model Engine) 을 통해 최적화되며, 이를 통해 사용자는 변동을 줄이면서 균일성과 처리량을 확장할 수 있습니다. LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 프로토타입과 프로덕션 실행 모두를 위한 완벽한 선택으로, 사용자에게 에칭 및 아스퍼링 애플리케이션을 위한 유연한 고성능 솔루션을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 갖춘 이 시스템은 학습 곡선을 최소화하여 탁월한 에칭 결과를 제공합니다. Flex 45는 정밀 에칭 및 아스퍼링 시스템에 대한 새로운 표준을 설정합니다.
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