판매용 중고 LAM RESEARCH Flex 45 #293587510

LAM RESEARCH Flex 45는 광범위한 프로세스 제어 및 유연성을 제공하는 단일 웨이퍼 에치 및 애셔 도구입니다. 업계 최고의 챔버 설계를 통해 특허를 획득한 기술 (예: 프로그래밍 가능 드라이브, 액티브 유체 제어, 고급 프로세스 균일성, 탁월한 입자 제어) 을 제공합니다. 따라서 정밀 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 필요한 MEMS, nanofabrication 및 기타 응용 프로그램에 이상적입니다. 내부 아키텍처는 단일 웨이퍼 병렬 에치 (parallel etch) 및 애싱 (ashing) 을 위해 설계되었으며 처리량이 높고 프로세스 균일성이 향상되었습니다. 이것은 다양한 반도체 응용 분야에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 응용 프로그램에 적합한 선택입니다. Flex 45는 단일 플랫폼에서 다양한 프로세스를 지원하는 넓은 영역 챔버를 갖추고 있습니다. 터보 차저 (turbocharger) 디자인과 다양한 응용 프로그램을 처리하도록 최적화된 다양한 mV 및 nA 정밀 에치 및 애싱 (ashing) 기술이 제공됩니다. 활성 흐름 제어 시스템 (Active Flow Control System) 을 사용하면 흐름 속도와 압력을 자동으로 조정하여 에치 (Etch) 및 애싱 (Ashing) 프로세스의 균일성이 높아집니다. 또한 프로세스 제어 기술 (process control technology) 은 TCO (총 소유 비용) 를 절감하고 애플리케이션 에칭 및 애쉬 (ashing) 를 위한 고급 프로세스 제어 및 균일성을 제공합니다. 이 에치 앤 애셔 (etch and asher) 는 깨끗하고 입자가없는 에치 및 애싱 챔버를 보장하는 고급 필터 솔루션으로 뛰어난 입자 제어를 제공합니다. 자가 진단 (Self Diagnostics) 및 원격 모니터링 (Remote Monitoring) 과 같은 고급 엔지니어링 기능을 통해 최적의 가동 시간과 안정적인 성능을 보장합니다. 또한 와퍼 (wafer) 를 방지하고 부품을 처리하기 위해 센서와 인터 록 (interlock) 을 포함한 광범위한 안전 기능이 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Flex 45 (LAM RESEARCH Flex 45) 는 다양한 어플리케이션에서 뛰어난 품질과 안정적인 성능을 보장하는 다양한 기능을 갖춘 매우 독특한 에치 앤 애셔 (etch and asher) 입니다. 고급 프로세스 제어 및 균일성, 뛰어난 입자 제어, 뛰어난 신뢰성 및 가동 시간, 플렉스 45 (Flex 45) 는 정밀 에칭 및 재싱이 필요한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.