판매용 중고 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9314231

LAM RESEARCH Extima 3100은 광범위한 microfricated semiconductor 및 MEMS 구성 요소에 대해 정확하고 고품질 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 장비는 통일 커버리지 (uniform coverage) 와 미세 라인 해상도 (fine line resolution) 를 모두 달성하는 데 필요한 고급 기능을 제공하여 특수 마이크로일렉트로닉 장치를 생산할 수 있습니다. 처리량 및 에치 깊이를 향상시키기 위해 고급 재료를 사용합니다. 이 시스템은 또한 깨끗하고 반복 가능한 처리 결과에 필요한 정확한 사양을 충족하도록 설계되었습니다. Extima 3100은 가스 혼합 비율 컨트롤러 (gas mixture ratio controller) 와 다중 속도 선택 (multiple speed selection) 을 갖춘 고급 방향 에칭 장치를 갖추고 있으며, 다양한 재료를 빠르고, 정확하며, 반복적으로 에칭 할 수 있습니다. 또한 에치 프로세스를 매우 정확하게 제어 할 수있는 고정밀, 엔드 포인트 감지 머신 (End-Point Detection Machine) 이 있습니다. 이 도구를 사용하면 에치 (etch) 시간과 원하는 피쳐 크기를 쉽게 모니터링하고 최적화할 수 있습니다. 또한, 자산의 제어 소프트웨어는 프로세스 펄스 및 바이어스 RF 에칭을 포함한 다양한 모드에서 작동을 가능하게합니다. LAM RESEARCH Extima 3100 etcher/asher에는 반복 가능한 프로세스에 대한 최적의 챔버 조건을 유지하기 위해 자동 보충 모델이 포함되어 있습니다. 이 장비는 가스를 지속적으로 순환하고 보충하기 때문에, 수작업 (manual addition) 이 필요 없고, 프로세스 유지 관리 간격을 연장하는 데 도움이 됩니다. 또한 통합 도구 설치 (Tool Setup) 프로그램을 사용하면 설치 시간이 길어질 필요가 없으므로 운영 처리량이 일관되게 유지됩니다. 강력한 소프트웨어 제품군과 함께, 이 시스템은 다양한 사용자 정의 프로세스와 완벽한 SPC (Statistical Process Control) 지원을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 레시피 생성 및 완벽한 기록 보존 기능을 포함하여, 완벽하고 사용자 지정 가능한 프로세스 제어를 사용할 수 있습니다. 요약하면, LAM RESEARCH Extima 3100 etcher/asher는 복잡한 마이크로 전자 장치 제조를위한 강력한 장치를 제공합니다. 첨단 에칭 (etching) 기능과 다양한 제어 옵션을 통해 일관성 있는 고품질 (high-quality) 결과를 만들어내는 데 필요한 정확성과 반복 기능을 제공합니다. 자동 보충 시스템은 유지보수 및 설치 작업을 간소화하는 한편, 사용이 간편한 소프트웨어 제품군은 "오류 없이" 반복 가능한 프로세스를 지원합니다. 마지막으로, 완전한 SPC 및 레시피 생성 기능을 갖춘 Extima 3100 은 특화된 하이엔드 디바이스를 제공하는 데 필요한 유연성과 제어 기능을 제공합니다.