판매용 중고 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270874

LAM RESEARCH Extrima 3100은 반도체 에칭 및 기판 준비 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 다용도 시스템은 다양한 기능으로 탁월한 에칭 성능을 제공하여 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 가능하게 합니다. 기계에는 강력한 프로세스 매개변수 (process parameter) 가 장착되어 있으며, 이 매개변수는 응용 프로그램에 맞게 사용자정의할 수 있습니다. 최대한의 프로세스 제어로 정확한 에칭을 위한 고정밀 DC 바이어스 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 이중 영역 선형 에칭 시스템은 높은 처리량 에칭을 위해 빠른 검색 속도를 갖습니다. 에칭 챔버는 균일 한 에칭 및 기판 보호를 위해 세라믹 라인이 있습니다. 또한, 처리 중 정전하를 무력화하기 위해 통합 이오나이저가 장착되어 있습니다. 이 기계는 자동화된 프로세스 제어 (process control) 및 저전력 소비 기능으로 설계되었으며, 최소한의 에너지 사용으로 최적의 에칭 성능을 제공합니다. 또한 컴팩트한 디자인으로 신뢰할 수 있는 성능을 제공하며, 터치스크린 제어판도 직관적으로 작동합니다. Extrima 3100은 코어 에칭/애싱 기능 외에도 두께 측정, 결정 분석 및 PVD 분석과 같은 분석 및 진단 기능도 제공합니다. 또한 운영 및 유지 보수 개선을 위해 안전 기능이 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH Extrima 3100은 반도체 산업이 탁월한 에칭 성능을 제공하도록 특별히 설계된 고급 에처/애셔입니다. 프로세스 매개변수 범위, 통합 분석/진단 (analytical/diagnostic) 기능을 통해 높은 정확도와 신뢰성을 갖춘 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리가 가능합니다. 빠르고 정밀한 에칭 및 기판 준비 응용 프로그램을위한 이상적인 기계입니다.