판매용 중고 LAM RESEARCH Extrima 300NX #9246538

LAM RESEARCH Extrima 300NX는 산업 및 연구 환경에서 다양한 작업에 이상적인 고급 플라즈마 에처/애셔입니다. 6 × 10-7 토르 (torr) 범위의 기본 압력과 최대 0.1 토르 (torr) 의 조절 가능한 전방 압력이 특징이므로 에칭 과정을 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다. 통합 소프트웨어 인터페이스를 사용하면 실시간 패라메트릭 레시피 (parametric recipe) 및 에칭 특성을 즉석에서 튜닝할 수 있습니다. 특허를 획득한 독점 설계, Triode RF 소스, 전력 범위 (0 ~ 200 와트) 를 갖춘 이 장비는 손쉬운 운영과 함께 저렴한 비용으로 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 오염 물질을 제거하도록 설계된 40mm 너비의 벨로우가있는 대용량 4 인치 쿼츠 튜브 (quartz tube) 가 있으며 배치 또는 단일 웨이퍼 모드에서 에칭 할 수 있습니다. 300NX 는 빠른 프로세스 사이클링 (cycling) 시간을 가지며, 프로그래밍 가능한 턴테이블을 통해 특정 요구 사항에 대한 에칭 (etching) 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 기판 (Substrate) 홀더를 사용하면 다른 에칭 프로세스에 대해 쉽게 변경할 수 있는 기판을 정확하게 배치하고 처리할 수 있습니다. 이 시스템에는 안심할 수 있는 (worry-free) 작동을 위해 설계된 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 즉, 왼쪽/오른쪽 로더에 장착하여 기판을 손쉽게 로드하고 언로드할 수 있으며, 안전하고 깨끗한 환경을 위해 장치 내에서 가스를 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 가스 흐름 모니터 (gas flow monitor) 와 경보 (alarm) 와 비활성 가스 제거 기계 및 필터가 포함되어 있어 유독하거나 위험한 입자로부터 주변 환경을 보호합니다. 이러한 고급 기능을 갖춘 익스트리마 300NX (Extrima 300NX) 는 다양한 재료에 대한 가장 까다로운 에칭 작업 요구를 충족하도록 설계되었습니다.