판매용 중고 LAM RESEARCH Exelan #9251056

제조사
LAM RESEARCH
모델
Exelan
ID: 9251056
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Etcher, 8" 2000 vintage.
LAM RESEARCH Exelan은 탁월한 비용 성능을 제공하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 독보적인 혁신적인 솔루션을 제공하여, 고객이 유연성, 제어 능력, 신뢰성을 제공하여 변화하는 시장 요구에 적응할 수 있도록 합니다. 엑셀란 (Exelan) 은 반도체, 포토 마스크, 저항기, 모세관 시스템, 포장 및 웨이퍼를 포함하여 광범위한 재료를 에칭하고 분쇄 할 수있는 고급 에칭 시스템입니다. 이 장치는 정확하며 정밀 수준에서 에칭 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Exelan에는 에칭과 바람을 피우는 여러 가지 기능이 있습니다. 이 머신은 강력한 컨트롤러로 제작되었으며, 사용자가 필요에 따라 에치 타임 (etch times), 온도 (temperature) 및 기타 설정을 제어할 수 있는 통합 설계를 제공합니다. '사용자 인터페이스 (user interface)' 는 사용이 간편하며, 모니터링 기능을 통합하여 모든 프로세스가 정확하고 안전하게 수행되도록 합니다. 이 도구는 자동 웨이퍼 로딩 기능뿐만 아니라 자동화된 고출력 클리닝 및 에칭 (etching) 기능을 제공합니다. 또한 다양한 증착 소스와 작동하며 프로세스 반복성을 보장하기 위해 다양한 프로그래밍 가능한 설정 (패턴 인식 포함) 을 제공합니다. 엑셀란 (Exelan) 은 또한 비활성 대기 (inert atmosphere) 및 배기 자산 (exhaust asset) 과 같은 다양한 고급 안전 기능을 통해 모델이 작동이 안전한지 확인합니다. LAM RESEARCH Exelan은 에너지 효율적인 장비이기도합니다. "가스 '소모 를 최소화 한 건식" 에칭' 을 할 수 있으며, 그 부품 들 은 수명 을 연장 시키고 유지 관리 비용 을 줄일 수 있는 믿을 만한 힘 을 자랑 한다. 이 시스템은 또한 직관적 인 소프트웨어 인터페이스 (software interface) 를 갖추고 있어 에치 프로세스 (etch process) 흐름 경로를 보다 효과적으로 제어할 수 있으며 웨이퍼의 자세한 추적성을 제공합니다. Exelan의 현재 및 향후 응용 분야에는 세밀한 패턴화 및 장벽, 참호 및 개구부 에칭, 웨이퍼 레벨 포장 응용 프로그램 및 MEMS 제작이 포함됩니다. 고급 기능, 신뢰할 수 있는 성능, 사용자 친화성을 결합하여 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 을 원하는 기업을 위한 최적의 선택이 됩니다.
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