판매용 중고 LAM RESEARCH Exelan #293615012

LAM RESEARCH Exelan은 대용량 IC 생산을 위해 설계된 비용 효율적인 고성능 에처/애셔입니다. 이 제품은 매우 까다로운 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행하면서 정확하고 반복 가능한 매개변수를 제공할 수 있는 고급 생산급 제조 장비입니다. 엑셀란 (Exelan) 은 강력하고 안정적인 성능을 제공하여 대용량 IC 생산에 이상적입니다. LAM RESEARCH Exelan은 종점 감지 기술이 통합 된 완전 통합 플라즈마 에칭 시스템을 사용합니다. 이 통합 자동화 장치는 정확한 프로세스 제어 및 고성능 처리량을 제공합니다. 이 기계는 가장 까다로운 에칭 (etching) 작업과 가장 어려운 화합물을 에칭 할 수있는 여러 가지 에칭 및 애싱 (ashing) 기능을 갖추고 있습니다. Exelan은 병렬 플레이트 고주파 전원 공급 장치를 사용하여 저압 플라즈마 충전을 제공하므로 플라즈마 에칭 프로세스를 정확하게 제어합니다. 또한 기본 레이어에 손상이 없어도 넓은 온도 범위에서 균일 한 에칭 (etching) 을 제공하여 고속 재료 제거 (high-rate material remove) 를 제공합니다. 또한 고해상도 이미징 기능도 제공합니다. LAM 리서치 엑셀란 (LAM RESEARCH Exelan) 은 에칭 및 애싱 기능 외에도 생산 효율성을 극대화하고 주기 시간을 단축하도록 설계된 여러 보조 서비스도 제공합니다. 여기에는 자동화된 챔버 클리닝 (Chamber Cleaning) 및 유지 보수, 안전성 향상 및 품질 관리를 위한 자동화된 프로세스 모니터링 등이 포함됩니다. Exelan은 또한 운영자 상호 작용을 단순화하도록 설계되었습니다. 색상 디스플레이 (Color Display) 와 메뉴 (Menu) 를 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있어 효율적이고 효과적인 작동을 보장합니다. LAM RESEARCH Exelan 에는 원격 액세스 기능도 포함되어 있으며, 원격 위치에서 etcher 를 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. Exelan은 대용량 IC 생산을위한 강력하고 다양한 도구입니다. 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능, 정교한 자동화 및 모니터링 도구, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 까다로운 에칭 프로세스를 위한 이상적인 솔루션이 됩니다. 안정적인 운영과 일관된 결과를 통해 생산성이 향상되고 수익률이 향상됩니다.