판매용 중고 LAM RESEARCH Exelan #293614971

LAM RESEARCH Exelan은 반도체 웨이퍼 프로세싱을위한 고급 에처이자 애셔입니다. 모든 증착 응용 프로그램에서 뛰어난 정확성, 반복성, 신뢰성을 제공하는 최첨단 컨트롤러가 장착 된 단일 챔버 애셔 (single-chamber asher) 입니다. 엑셀란 (Exelan) 은 다양한 화학 물질과 에치 화학 물질로 여러 기질을 동시에 에칭 및 애싱 할 수있다. 또한 LAM RESEARCH Exelan은 안전, 재료 효율 및 비용 절감을 극대화하는 공정 챔버로 설계되었습니다. 엑셀란 (Exelan) 은 금속, 화합물 반도체, 중합체 및 탄소 나노 튜브를 포함한 다양한 물질을 에치하고 애셔링하도록 설계되었습니다. 이로써 샘플 크기가 제한적이기도 한, 빠른 처리 시간 (turnaround time) 이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다. LAM RESEARCH Exelan 컨트롤러는 프로세스 매개변수 (process parameter) 설정의 유연성을 제공하도록 설계되어 고객 연구 및 개발 애플리케이션에 적합합니다. 기계에는 효과적인 표면 청결 및 챔버 유지 관리를 위해 브러시 스크러빙 (brush scrubbing) 을 사용하는 자동 챔버 청소 장비가 있습니다. 이는 프로세스의 신뢰성과 반복성을 향상시키는 자동 제거 (purging) 및 통풍 (venting) 을 통해 보완됩니다. 또한 미립자 오염을 최소화하는 데 도움이되는 질소 정밀 검사 시스템 (nitrogen overhaul system) 이 특징이며, 이는 표면 오염이 해로울 수있는 응용 분야에 유익합니다. 안전한 작업 환경을 보장하기 위해 Exelan에는 폭발 탐지 장치가 있습니다. 이 기계 는 특히 반도체 "웨이퍼 '생산 에 유용 한데, 이것 은 반도체" 웨이퍼' 가 노출 되기 전 에 챔버 '의 "가스' 를 감시 하여 폭발 반응 의 위험 을 줄일 수 있기 때문 이다. LAM 리서치 엑셀란 (LAM RESEARCH Exelan) 은 입자 오염 확률을 최소화하는 에르메틱 밀봉 된 공정 챔버 (process chamber) 를 가지고 있으며, 약실은 공정 실패 가능성을 줄이기 위해 설계 된 것입니다. 전반적으로 엑셀란 (Exelan) 은 효율적이고 신뢰할 수있는 에처이며, 모든 증착 과정에서 탁월한 정확성과 반복성을 보장합니다. 고급 컨트롤러, 자동 챔버 클리닝 도구, 질소 정비 자산, 폭발 탐지 모델 (explosion detection model) 은 장비가 안전한 작업 조건을 유지하는 반면, 은밀하게 밀봉 된 공정 챔버 (process chamber) 는 웨이퍼 생산에 대한 최대 안전성과 신뢰성을 보장합니다.