판매용 중고 LAM RESEARCH Exelan A6 #9090420
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오


판매
ID: 9090420
웨이퍼 크기: 8"
Dual frequency oxide chamber, 8"
Plasma Monitoring, 27/2 MHz
(1) 8" Chamber
Osaka Helical Groove Vacuum Turbo Pump & Controller Model TS443EN
ENI Dual Frequency RF Generator Model OB1-03, and Match set
RF output 2.5kW @1.8 MHz and 10kW max at 27MHz
HP Vectra Xu 6/200 computer with Lam Exelan Software
RF
Gas box
Plasma monitoring system upgrade included:
BICEP Monitor
BIAS Monitor
Polarity RVS
Polarity RVS RTN
Esc set point
Esc monitor
Missing:
6" Right-angle valve
Controller for the helical-groove-pump.
LAM RESEARCH Exelan A6은 고품질 에칭 미세 구조의 대량 생산을 위해 설계된 에치/애셔입니다. DRIE (Deep Reactive-Ion Etching), 보쉬 프로세스 (Bosch Process), 습식 에칭 (Wet Etching) 과 같은 여러 프로세스에 대해 쉽게 재구성 할 수있는 표준 프로세스 모듈을 수용할 수 있기 때문에 제조업체에 경제적이고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 엑셀란 A6 (Exelan A6) 은 모든 공정 영역을 수용하는 엄격한 안전 인클로저에 분리 가능한 챔버를 갖춘 전금속 구조를 갖추고 있습니다. 또한, LAM RESEARCH Exelan A6에는 독점 소프트웨어 인터페이스가 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 다양한 매개변수에 대한 장비를 빠르고 정확하게 구성할 수 있습니다. Exelan A6의 주요 기능은 압력, 온도 및 타이밍을 제어하는 내장 안전 메커니즘입니다. 전용 소프트웨어를 통해 압력, 온도, 타이밍을 조절할 수 있으므로 구성 요소 손상 위험을 줄일 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 3 개의 중복 전달 시스템, 3 개의 독립 레이저 및 3 개의 개별 압력 용기가 장착되어 있으며, 다양한 유형의 에치 가스를 가진 여러 레이어의 효율적인 에칭이 가능합니다. LAM RESEARCH Exelan A6은 자동 장치 켜기/끄기 기능, 진동 감쇠 및 비상 정지 버튼을 제공합니다. 따라서 사용자 및 플랜트 환경의 안전을 극대화할 수 있습니다. 엑셀란 A6 (Exelan A6) 은 기질과 관련된 잠재적 손상 및 오염 가능성을 줄이기 위해 설계되었습니다. 기판 과 호환 되는 화학 물질 을 사용 하면서, 매우 정확 하고 신뢰 할 만한 결과 를 낼 수 있으며, 이것 은 최종 제품 의 질 을 보장 해 준다. "깨어라!" ( 또한이 기계에는 에칭 된 미세 구조의 지속적인 저전력 미세 검진을 위해 자동화 된 도량형 솔루션이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 에칭 (etched) 구조를 모니터링하고 원하는 결과의 결함 및 편차를 감지할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Exelan A6에는 스파크 (sparks) 와 화재 (fire) 와 같은 잠재적 위험으로부터 사용자를 보호하는 필요한 안전 장치가 모두 있습니다. 전반적으로 Exelan A6은 에칭/애셔 생산을위한 고급, 신뢰성 및 안전한 도구입니다. 내장형 안전 메커니즘은 기판과 관련된 오염 및 손상 위험을 줄이는 한편, 내장형 하드웨어/소프트웨어는 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다. 또한, 자동 도량형 (automated metrology) 솔루션은 에칭 미세 구조에 대한 지속적인 평가를 제공하여 최종 제품의 원하는 품질을 보장합니다. 이러한 기능은 모두 LAM RESEARCH Exelan A6을 제조업체에 적합한 선택으로 만듭니다.
아직 리뷰가 없습니다