판매용 중고 LAM RESEARCH EOS #293666971

LAM RESEARCH EOS (LAM RESEARCH EOS) 는 개방형 플랫폼 설계를 갖춘 고급 에칭/애싱 솔루션으로, 에칭 속도와 깊이를 정확하게 제어하여 품질 미세 구조를 만들 수 있습니다. 다양한 에치 레시피를 선택하여 사용자가 SiN, SiO2, Si3N4, polysilicon 등의 다양한 기판에서 정확한 미세 구조를 만들 수 있습니다. 이 제품은 또한 다양한 가스 전달 옵션 (최대 압력 800 mtorr) 을 제공하여 사용자에게 고해상도 저항 필름 (resist film) 을 생산할 수있는 기능을 제공합니다. EOS는 균일 한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 프로세스 및 일관된 결과를 유지하는 통합 온도 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 프로그래밍 인터페이스를 통해 사용자는 여러 가지 에치 레시피 (etch recipe) 를 설계하여 높은 수준의 정밀도 및 반복성으로 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH EOS에는 부식제 및 연기로부터 직원을 보호하기 위해 설계된 고급 안전 시스템이 있습니다. 마지막으로, 이 플랫폼은 다른 도구, 시스템과 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 사용자는 최소한의 노력으로 기능을 확장하고, 생산성을 높일 수 있습니다.