판매용 중고 LAM RESEARCH / DRYTEK Megastrip 6 #9093530

LAM RESEARCH/DRYTEK Megastrip 6은 반도체 및 기타 기판의 표면에서 플라즈마 재료를 정확하게 제거하도록 설계된 최첨단 에칭/스트립핑 장비입니다. 5 축 로봇으로, 에칭 챔버는 챔버 디자인 및 인테리어 안감의 최신 기술로 최대 6 평방 피트 (6 평방 피트) 에 도달 할 수 있습니다. 이 시스템은 탁월한 수준의 반복성, 재현성을 제공하여 정밀 회로 설계를 위한 초미세 해상도 기판 (ultra-fine resolution substrate) 및 기능을 제공합니다. DRYTEK Megastrip 6은 인라인 (in-line) 원격 제어 장치 및 He3/Xe + 가스 전달 머신으로 설계되어 원치 않는 재료를 매우 정확하게 제거 할 수 있습니다. 이 도구에는 매우 정밀한 가스 흐름 (gas flow) 전달 에셋과 3면 시야 포트가 장착되어 있어 개선되고 선명한 시야가 제공됩니다. 이 가스 전달 모델 (gas delivery model) 은 또한 가스 혼합이 부품 및 기판 손상을 피하기 위해 작동 중 사양 내에 유지되도록 보장합니다. LAM RESEARCH Megastrip 6은 다양한 에칭 조건을 제공하여 최대한의 설계 유연성을 제공합니다. 고급 무비 모드 (Advanced Movie Mode) 장비 설정을 사용하면 플라즈마 에치 (Etch) 공정을 정확하게 제어할 수 있으므로 운영 효율이 높고 성능이 뛰어납니다. 메가 스트립 6 (Megastrip 6) 에는 에치 공정 후 구성 요소를 울리는 초음파 탱크가 장착되어 있습니다. 이 "탱크 '는 조종 된" 린스' 압력 과 온도 를 높여 구성 요소 들 을 적절 히 청소 하고 잔류 여유 표면 을 허용 하도록 설계 되었다. 마지막으로, LAM RESEARCH/DRYTEK Megastrip 6에는 고급 웨이퍼 플리퍼가 장착되어 있으며, 이를 통해 습식 및 건식 공정 챔버 사이에 웨이퍼를 빠르게 뒤집을 수 있습니다. 이로써 "에칭 '후 에" 웨이퍼' 를 신속 히 준비 하고 제조 과정 의 다음 단계 로 손쉽게 보내도록 함 으로써 효율성 이 대폭 향상 된다. 결론적으로, DRYTEK Megastrip 6은 강력하고 고급 에치/스트립 시스템으로, 정밀 제작 및 생산에 사용될 수 있습니다. 인라인 (In-Line) 리모콘 장치, 3면 시야 포트 및 무비 모드 머신은 에치 (etch) 프로세스를 최적으로 제어할 수 있는 반면, 고급 웨이퍼 플리퍼는 웨이퍼 설정 (Wafer Setup) 및 전송을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. LAM 리서치 메가스트립 6 (LAM RESEARCH Megastrip 6) 이 반도체 업계에서 눈에 띄는 비품이 된 것은 당연합니다.