판매용 중고 LAM RESEARCH / DRYTEK DRIE-100 #293645358

LAM RESEARCH/DRYTEK DRIE-100은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 etcher/asher로, 단일 웨이퍼 및 배치 프로세스를위한 고급 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 이 장비는 대용량 음극 영역과 고압, 고압 방전 기능을 갖추고 있어 높은 온도와 거친 재료를 요구하는 탁월한 에치 레이트 일관성 (etch-rate consistency), 에치 깊이 제어 (etch depth control) 및 기계적 냉각 기능을 제공합니다. 시스템의 강력한 발전기 및 전원 공급 장치 (Power Supply) 를 사용하면 에칭 매개변수를 조정하여 높은 정밀도와 유연성을 얻을 수 있습니다. DRYTEK DRIE-100은 고급 반응성 이온 에칭 (reactive ion etching) 및 애싱 (ashing) 기술을 사용하여 기판에 대한 최소한의 손상으로 재료가 매우 작은 깊이로 에치 및 애싱 할 수 있습니다. 온보드 가스 전달 장치도 포함되어 있으며, 반복 가능한 흐름 및 레시피 기반 화학 제어를 제공합니다. 추가 기능으로는 고급 2 차원 제트 플로우 패턴 링 기술, 고정밀 현장 엔드 포인트 제어, 종합 프로세스 모니터링, 자동 웨이퍼 기판 레벨 진공, 챔버 진공 모니터링 및 제어 기능 등이 있습니다. LAM RESEARCH DRIE-100에는 내장 압력 규제, 공기 잠금 기능이있는 Operator Access Door, 배기 여과 및 정교한 누출 감지를 포함한 여러 가지 고급 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 건강 및 안전에 대한 UL, CE 및 SiaCG 표준에 대한 인증을 받았습니다. 전반적으로, DRIE-100은 탁월한 성능과 향상된 프로세스 유연성을 제공하는, 강력하고 안정적인 etcher/asher 도구입니다. 여러 가지 안전 (safety) 기능을 통해 다양한 반도체 프로세스에 사용할 수 있습니다. 에셋의 조절 가능한 에칭 (etching) 매개변수를 사용하면 정확한 제어를 통해 특수한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 적합합니다.