판매용 중고 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9384902

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asher는 반도체 산업에서 금속 및 실리콘과 같은 하드 재료를 에칭 및 세척하는 데 사용되는 고성능, 고 생산 장비입니다. 이 시스템은 최적의 장치 성능 (Optimal Device Performance) 생산에 필요한 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 위해 설계되었습니다. DRYTEK 384T는 높은 플럭스 열 및 플라즈마 에칭 공정의 조합을 사용하여 원하는 장치 특성을 달성하는 단일 웨이퍼 에칭 장치 (single-wafer etching unit) 입니다. 이 기계는 다른 시스템보다 최대 5 배 빠른 에치 (etch) 및 애싱 속도 (ashing rate) 를 제공하여 처리량을 높이고 비용 효율성을 높일 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 효율적인 발열을 위해 설계되었으며 열 절연, 열 하중 관리 및 공정 밀봉 기술의 조합을 사용합니다. 이 도구는 다양한 공정 커스터마이징 (process customization) 옵션을 제공합니다. 여기에는 다양한 형상에서 다양한 재료를 에치하는 기능이 포함되어 있으므로 다양한 반도체 (semiconductor) 응용 프로그램에 적합합니다. LAM RESEARCH 384T 자산에는 최적의 안전 및 환경 성능을 보장하기 위해 오존 스크러버, 산소 스크러버, 질소 스크러버, 현장 가스 모니터 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이 모델은 또한 고급 압력 제어 장비, 현장 시간 및 온도 로그, 자동 차단 시스템, 자동 시작 기능, 흐름 제어 장치, 레시피 기반 제어기 등 다양한 고급 제어 기능을 제공합니다. 고급 (advanced) 기능을 결합하면 프로세스 제어 및 최적화 기능이 향상되어 다양한 운영 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문). 또한 384T는 에너지 효율성이 매우 높아 다른 유사 시스템에 비해 에너지 소비량이 최대 25% 적으며, 운영 비용과 환경 영향을 크게 줄였습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asher는 반도체 장치 생산을위한 견고한 고성능 솔루션으로, 향상된 처리량, 맞춤형 프로세스 제어 및 에너지 효율성을 제공합니다.