판매용 중고 LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #85389

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T는 반도체 처리를 위해 설계된 고급 etcher/asher로, 뛰어난 반복성으로 고품질 에칭 결과를 생성합니다. 자동화된 장비를 통해 에칭 (etching), 애싱 (ashing), 클리닝 (cleaning) 과 같은 프로세스를 빠르고 안정적으로 수행하고 강력한 프로세스 제어, 안전 및 신뢰성을 제공합니다. DRYTEK 384T의 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 는 격리 밸브로 밀봉되어 오염 위험을 제거합니다. 이 시스템에는 직관적인 그래픽 프로세스 레시피 에디터 (Graphical Process Recipe Editor) 및 완전한 디지털 프로세스 모니터링 (Full Digital Process Monitor) 기능뿐만 아니라, 정확한 프로세스 제어를 제공하는 고급 디지털 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 자동 프로세스는 보드 레벨 장치가 잘 관리되도록 보장합니다. 건식 에치 속도는 최대 176 ° m/min, 소수성 층은 최대 20 nm 두께입니다. 이 기구 는 위험 한 물질 과 냄새 를 제거 하기 위한 종합 배기가스 (배기가스) 장치 를 갖추고 있어서, 직장 에서 더 안전 한 선택 을 한다. 또한, LAM RESEARCH 384T 는 프로그래밍 및 모니터링을 위한 강력한 소프트웨어 제품군을 제공하며, 프로세스 매개 변수에 대한 실시간 데이터, 챔버 유지 보수 (chamber maintenance) 에 대한 가시성, 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스 등을 제공합니다. 바이어싱 (biasing), 아크 점화 (arc ignition), 보상 단계 (compensation steps) 는 모두 소프트웨어 내에서 정확한 제어를 통해 수행되므로 프로젝트의 정확한 요구 사항을 충족할 수 있는 맞춤형 프로세스 레시피를 만들 수 있습니다. "핫 플레이트 '와 특수" 가스' 혼합 "시스템 '과 같은 장치 의 기능 을 더욱 확장 하기 위하여 여러 가지" 액세서리' 를 이용 할 수 있다. 384T는 반도체 장치의 깨끗하고 효율적인 생산에 이상적인 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다.