판매용 중고 LAM RESEARCH Chambers for 2300 Exelan Flex #293729504

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex Chambers는 웨이퍼 제작을위한 열 공정 솔루션을 제공하는 에처/애셔입니다. Exelan Flex 챔버는 Class 1 및 Class 10 모델로 제공되며 후자는 뛰어난 제어 및 정밀도를 제공합니다. 엑셀란 플렉스 챔버 (Exelan Flex chamber) 의 혁신적인 디자인은 전통적인 에칭 시스템에 비해 다양한 이점을 제공합니다. 2 단계 열 처리, 온도 및 압력을 보다 정확하게 제어하여 에칭 결과를 최적화 할 수 있습니다. 또한, 2 단계 tecgnique는 낮은 응력 처리를 제공하여 높은 에치 레이트 균일성을 보장합니다. 프로세스 시간이 빨라질수록 운영 주기가 훨씬 빨라집니다. Exelan Flex는 고효율 RF 전원 공급 장치를 갖추고 있어, 고가의 수냉식 (water-cooling) 을 필요로 하지 않습니다. 따라서 챔버 구성의 유연성이 향상되어 비용을 절감할 수 있습니다. 챔버의 자동 웨이퍼 인식 (Automatic Wafer Recognition) 및 추적 (Tracking) 기능을 통해 운영자가 제어하여 다운타임 및 운영자 오류를 줄일 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 편리함과 신뢰성을 염두에 두고 제작되었으며, 광범위한 모니터링 기능을 제공하여 화학 물질, 온도, 공정 매개변수를 항상 면밀히 모니터링할 수 있습니다. 따라서 에칭 프로세스는 항상 최적의 조건에서 수행됩니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스를 통해 설정 (settings) 을 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있어, 언제나 균일한 결과를 얻을 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 는 반도체 제작에 이상적인 선택이며, 대부분의 생산 에칭 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 적합한 솔루션입니다. 이 강력한 에칭 시스템은 안정적인 작동, 향상된 프로세스 제어, 향상된 처리량을 제공하여 반도체 제작을 위한 귀중한 도구입니다.