판매용 중고 LAM RESEARCH Autoetch 790 #9300198

LAM RESEARCH Autoetch 790은 반도체, MEMS 및 광전자 산업의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 고성능 etcher/asher입니다. 즉, 구성이 용이한 아키텍처를 통해 개별 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. Autoetch 790은 안전성과 신뢰성을 강조하면서 정확한 etch 제어와 낮은 운영 비용을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 균일 한 웨이퍼 처리를 제공하고 최대 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수있는 고급 대구역 기판 배달 시스템을 갖추고 있습니다. 대규모 기판 전달 장치는 또한 멀티 시카고 웨이퍼 로딩 및 웨이퍼 그룹화를 허용합니다. 이 기계는 기질 청결성을 보장하고 전체 웨이퍼에 균일 한 에치 농도를 제공하는 완전 자동화 된 기질 전 처리 공정 (pre-treatment process) 으로 설계되었습니다. LAM RESEARCH Autoetch 790에는 에찬트 재료의 정확한 온도 제어가 가능한 고급 디지털 온도 제어 모듈도 있습니다. 이것은 에친트 소비를 최소화하면서 기질의 균일 한 처리를 보장합니다. 또한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 레시피 매개변수 (Recipe Parameter) 를 빠르고 쉽게 선택하고 프로세스 조건을 모니터링하며 잠재적인 프로세스 결함을 감지할 수 있습니다. 오토에치 790 (Autoetch 790) 은 에치 잔류 물 (etch residue) 과 유해 물질을 제거하여 환경에 미치는 영향을 최소화하는 효율적인 프로세스 배기 도구를 갖추고 있습니다. 또한 모델 내에 포함 된 입자, 연기 및 가공 화학 물질을 유지하는 고급 격리 자산 (advanced containment asset) 이 특징입니다. 이를 통해 장비가 시설이나 위험에 처한 직원을 오염시키지 않습니다. 이 시스템은 장애 모니터링, 정적/동적 압력 제어, EOL (End-of-Run) 센서, 긴급 차단 등의 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한, 모든 적용 가능한 안전 표준을 충족하도록 설계되었으며 Class 1, Division 1, Group D 유해 재료 환경에서 사용하도록 인증되었습니다. LAM RESEARCH Autoetch 790은 반도체, MEMS 및 광전자 산업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 견고하고 안정적이며 사용자 친화적 인 etcher/asher입니다. 정확한 etch 제어, 낮은 운영 비용, 높은 수준의 안전 및 신뢰성을 제공합니다.